中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 45D #293615959 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 45Dは、半導体製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。このシングルチャンバードライプロセスエッチャー/アッシャーは、量産ラインと研究開発アプリケーションの両方に適しています。TEL Unity ME 45Dは、エッチング時の損失や取り込みの比率が低く、シリコン、酸化物、窒化物、ポリシリコン、金属など多種多様な材料をエッチングすることができます。ME 45Dは、2セットのシャワーヘッドと2セットの基板ホルダーを備えた単一のチャンバーで設計されています。これにより、2つの基板を同時にエッチングできます。また、3段ターボ分子ポンプを備えた高真空システムを採用し、エッチング精度を高めています。エッチャー/アッシャーには、エッチャー/アッシャーがエッチング処理に必要な正確な条件を維持できるようにする多数のプロセス制御ユニットが装備されています。ME 45Dは垂直に取り付けられたコントロールパネルによって制御され、オペレータはエッチング時間、エッチング圧力、およびその他のパラメータを調整して正確なエッチング結果を得ることができます。ME 45Dには、プロセスを監視し、エッチングプロセスの精度を確保するためのガス混合およびin-situ診断システムも装備されています。ガス混合システムは、エッチング中に使用されるガスの流量と比率を正確に制御することができます。ME 45Dは、不活性ガス漏れ検出器、緊急換気、漏れ検出システムなどの安全機能も備えています。さらに、ME 45Dには、エッチングプロセス中に発生する微粒子や臭いを捕捉するための高効率スクラバーユニットがあります。ME 45Dは、幅広いエッチング機能、正確な制御、簡単なメンテナンス、およびユーザーの安全機能を提供するドライプロセスエッチャー/アッシャーです。この組み合わせにより、半導体製造に最適なエッチャー/アッシャーです。