中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293820990 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ユニティMシリーズエッチャー/アッシャーは、ウェーハからフォトレジストパターンをエッチングして除去する高性能システムです。TEL Unity Mは、多様なニーズに対応する幅広いプロセスを備えており、優れたプロセス再現性と均一性を誇っています。また、東京エレクトロンユニティ-Mは他のシステムに比べて消費電力が少なく、材料使用量も少ない。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-Mは、銅エッチングや誘電体ストリッピングなどのさまざまなプロセスをサポートするために設計された包括的なエッチャー/アッシャー装置です。高精度のインターロックシステムと洗練された機能制御ユニットを搭載し、すべてのプロセス関連データを記録および管理します。この機械はさまざまなエッチング率のフォトレジストか他の材料をエッチングし、除去でき、変数はリアルタイムで置くことができ、調節することができます。ロボットサンプルチェンジャーをUnity Mに接続して、自動制御とクイックサンプルローディングを行うこともできます。TOKYO ELECTRON Unity Mの先進的なプロセスツールにより、歪みが少なく均一なパターンと箔の形成でウェハの均一性を向上させます。また、自動校正機能を使用して再現可能なレシピを装備するために必要な時間を短縮します。TEL UNITY-Mは、危険物や短絡制御の高度な安全機能も備えています。UNITY-Mには、ワンクリックで複数のエッチパラメータのレシピを設定できるコントロールモジュールがあります。直感的なユーザーインターフェイスは、TELパフォーマンスモニタリングツールによるリモートコントロールとデータ共有にも対応しています。これにより、歩留まりとパフォーマンスを向上させるための詳細かつ正確なプロセス制御が可能になります。また、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Mは、他のシステムよりも消費電力と材料量が少なく、平均消費電力は500Wです。また、人件費の面でも効率的であり、シンプルで複雑なエッチングプロセスを実行することができます。TEL Unity Mは、エッチングと剥離プロセスの効率を大幅に改善し、生産コストを削減できます。また、プロセスのパフォーマンスを向上させ、サイクルタイムを短縮するためのさまざまな機能も提供しています。したがって、低コストで優れたエッチング結果を得ることができる汎用性と強力な核酸表面エッチャー/アッシャーです。