中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293654956 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Mは、幅広い業種での使用に最適な高性能エッチング装置です。このシステムは、マイクロウェーブベースのプラズマエッチングを使用して、シリコンウェーハなどの基材を精度と速度でエッチングします。複数のレイヤーを一度に処理でき、直径200mmまでのエッチングが可能です。ユニットは、大量の製品の迅速な生産を可能にするバッチ処理に使用することができます。このエッチャーは、プロセスチャンバー内で発生する高周波無線信号を使用して、幅広い特性を持つプラズマを生成します。これにより、高温および高スループットでのエッチングが可能になります。その結果、クリーンで高精度なエッチングが得られます。さらに、エッチャーには、より大きなボリュームプロジェクトのための大きな基板容量が含まれています。TEL Unity Mはマルチチャンバーアーキテクチャを備えており、複数層のエッチングを並列に行うことができます。高速で高品質なエッチングプロセスを実現します。さらに、機械は厚さの4から200ミクロンまで及ぶ材料を扱うことができ、1000°Cまでの温度でエッチングできます。また、このプロセスは複数のツールコンポーネント間で動的に整合性を保つように設計されています。これにより、異なる材料や厚さのウェーハを使用しても均一なエッチング結果が得られます。TOKYO ELECTRON UNITY-Mの他の機能には、使いやすいタッチスクリーンインターフェイスと専用のエッジエクスクルーションチャンバーがあります。これにより、ユーザーはエッジを除外せずにエッチングやその他のアーティファクトを作成できます。さらに、ユーザーがリアルタイムでエッチング品質を監視することができる自動品質モニターを装備することができます。これにより、さらなるレベルの管理と品質保証が可能になります。また、東京エレクトロンユニティMは、幅広い基板や材料、各種成膜プロセスに対応しています。全体的に、TEL UNITY-Mはあらゆる業界に理想的な強力なエッチングモデルです。この装置のマルチチャンバーアーキテクチャにより、複数の層のエッチングを並列に行うことができます。マイクロ波ベースのプラズマエッチングとダイナミックな一貫性により、最高の精度のエッチング結果が得られます。さらに、このシステムは使いやすさのために設計されており、直感的なタッチスクリーンインターフェイスや自動品質モニターなどの機能が含まれています。その結果、UNITY-Mは迅速かつ正確なエッチングと蒸着プロセスが可能になります。