中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD #9254149 を販売中
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ID: 9254149
ウェーハサイズ: 8"
Oxide etcher, 8"
Components:
Load Lock Module (LLM)
Transfer chamber
Pre aligner
(2) Process chambers
(3) Gate valves
(2) Bottom RF matchers
(2) Upper electrode cooling fans
(2) ESCs
(2) Baffle plates
(2) Shield rings
(2) Upper electrodes
(2) Pedestals
(2) Quartz insulators
Turbo molecular pump
Focus ring
Ceramic insulator
Quartz pipe
Display
Light tower
Pumps:
(2) Process chamber dry pumps
(2) Dry pumps racks
EBARA Load lock dry pump
EBARA Transfer chamber dry pump
(2) PC TMP Pumps missing
Main controllers:
(4) Hard Drive Disks (HDD)
(2) Control boards, AI/AO boards set
Big system control box
TC Controller box
Chillers:
SMC Dual chiller
SMC Single chiller
(4) Chiller hoses
Cables:
(5) Pump power cables
(4) Pump control cables
(6) Power cables
(3) Chiller control cables
(5) Remote pump cables
Interface cable
Gas box cable
AC Cable
(2) Gas boxes
(2) V-37 Valves
AC Power box: AC Distribution box
Foreline connecting pips.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TDは、マイクロエレクトロニクス部品の信頼性と経済性を高めるために設計されたエッチャー/アッシャーです。このツールは、単一の実行で複数のコンポーネントを処理することができるマルチチャンバープロセス機器です。ウェットまたはドライプロセスを実行するように設計されており、高温および/または選択的エッチングを適用する機能が含まれています。このシステムは、コントロールパネルまたはフロントパネルインターフェイスを使用してプログラムされ、自動化された操作のためにプログラムすることができるいくつかの安全機能を備えています。TEL Unity M 85 TDは、メインチャンバーと2つのサブチャンバーを備えたマルチチャンバー設計を特徴としています。これは、オペレータが正確にガスの正しい量と処理されたプロセスごとに適切な種類を提供することができますユニークなガス配置ユニットが装備されています。このマシンには高度な診断ツールも搭載されており、オペレータは故障した機器をすばやくトラブルシューティングできます。また、APCS (Automated Process Control Tool)も標準装備されており、プロセスパラメータの測定値を継続的に監視し、正確な仕様を維持します。このエッチャー/アッシャーは、最大25Wの多範囲のパワーレベルを備えており、高精度操作を可能にします。急速加熱機能により処理時間が短縮され、熱制御アセットが一貫した動作と再現性のある結果を保証します。TOKYO ELECTRON Unity M 85 TDは、様々な特殊ガスに対応し、幅広い用途に対応できるよう設計されています。Unity M 85 TDには、オペレータ、モデル、プロセスを保護するいくつかの標準的な安全機能があります。すべての空気中の粒子は、内蔵の排気装置によって除去され、ESD(静電放電)耐性材料は潜在的な傷害や損傷を防ぐために使用されます。また、エアフィルターが内蔵されており、空気の品質を継続的に監視し、それに応じてプロセスを調整します。TEL/TOKYO ELECTRON Unity M 85 TDは、あらゆる生産ラインへの信頼性と効率性の高い付加です。最高品質の完成品を確保しながら、スループットを最大化し、コストを削減するように設計されています。その高度な安全機能は、事故防止と連続的な生産プロセスを保証します。このエッチャー/アッシャーは、半導体デバイス、ディスプレイ、薄膜技術などの精密アプリケーションに最適です。
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