中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe #9093721 を販売中
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ID: 9093721
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Dry etcher, 8"
Configuration: Unity 2 DRM
Chamber type: DRM
Software version: Ver 3.61-Rev 212
Wafer type: Flat
Main body type: Wide
Chamber: 2-Chamber
Robot type: Yaskawa/Twin arm
Robot drive: Yaskawa/VS2A
Robot drive: Yaskawa/Vosh
Pendulum valve: VAT/65046-PH52
Isolations V/V: Present
Pressure gauge: MKS/627A-13614-S
TMP1: Seiko Seiki/STP-1303W1
TMP2: Seiko Seiki/STP-1303W1
TMP Con't1: Seiko Seiki/STP-1303W1
TEMP Con't2: Seiko Seiki/STP-1303W1
Generator1: ENI/OEM-25B-01
Generator2: ENI/OEM-25B-01
Matcher1: ENI/MWD-25LD
Matcher2: ENI/MWD-25LD
Chiller1: SMC INR499-201
Gas: 8-Line STEC/Aera
B.HE (CNT): STEC/SEC-7440
B.HE (Edge): STEC/SEC-7440
Main controller:
ISA SLOT1 NE2000 PLUS3N-2 Present
ISA SLOT2 IBX4101 Present
ISA SLOT3 EMPTY Present
ISA SLOT4 AT-BCN/A Present
HDD(SYSTEM) Present
HDD(DATA) Present
VME slot 1 SVA 004a Present
VME slot 2 SVA603 Present
VME slot 3 MVME612 Present
VME slot 4 GST-M-SET-312 Present
VME slot 5 TVB0002 Present
VME slot 6 TVB0010-1 Present
VME slot 7 TEB102-1 Present
VME slot 8 EMPTY
VME slot 9 TVB0008 Present
VME slot 10 TEB3101-1 Present
TYB221-1/PUMP Present
TYB415-1/RF Present
TYB212-1/RF Present
TYB416-1/PUMP Present
TYB414-1/CONT Present
TYB425-1/INT Present
P/C1 Controller:
Slot 1 APC(PB-2) Present
Slot 2 TYB112-1/DIO Present
Slot 3 TYB111/MAIO Present
Slot 4 TYB121/COM Present
Slot 5 TYB121/COM Present
Slot 6 TEMP Present
Slot 7 EMPTY
P/C2 Controller:
Slot 1 APC(PB-2) Present
Slot 2 TYB112-1/DIO Present
Slot 3 TYB111/MAIO Present
Slot 4 TYB121/COM Present
Slot 5 TYB121/COM Present
Slot 6 TEMP Present
Slot 7 EMPTY
T/C Controller:
Slot 1 COM Present
Slot 2 TYB112-1/DIO1 Present
Slot 3 TYB112-1/DIO2 Present
Slot 4 TYB112-1/DIO3 Present
Slot 5 MAIO Present
Slot 6 TYB131-1/ILK Present
Gas Box module:
TYB 211-A/GAS(1) Present
TYB 211-A/GAS(2) Present
1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIeエッチャー/アッシャーは、デバイスレベルの処理、歩留まり管理、製品革新に最適な、信頼性が高く、費用対効果が高く、高効率なエッチングおよびアッシング処理です。TEL Unity IIeは、TEL先進のプラズマエッチャーとアッシャーの1つで、極めて精密な加工を実現します。プロセスチャンバーはクラス10,000の清浄度を評価され、自動ガススイッチングや自動バランス配電などの高度なプロセス制御機能を備えており、優れたエッチングとアッシング性能を保証します。TOKYO ELECTRON Unity IIeは、アスペクト比の高い機能を実現するのに最適な低圧プラズマエッチング処理を採用しています。PECVDオーバーコートを採用し、エッチングとアッシング精度を向上させるための正確なコンフォーマルコーティングを作成します。Unity IIeは、プロセスエコノミーを向上させるために、シングルランで大きなウェーハを処理することができます。8x300mmのウエハサイズを採用し、優れた基材接着性を実現する温度設定が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIeには、マルチステーションウェハカセットのローディング、自動パージのフェイルセーフ保護、直感的な自動ウェハローディング技術が搭載されており、優れたウェハハンドリングとスループットを実現しています。TEL Unity IIeには、エッチング、アッシング、または両方のプロセスの組み合わせに使用できる設定可能なプロセスガスラインもあります。5つの独立したガス供給システムを備えており、最適なエッチング結果を得るために最適化されたエッチングプロファイルを提供します。さらに、カスタマイズ可能なプロセスレシピ、調整可能なパラメータ、高度なオンラインフィードバック制御を備え、エッチング精度に優れています。Unity IIeは、半導体、家電、MEMS、 LED製造など、さまざまな産業で使用するために設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIeは、パワフルなエッチングとアッシング機能により、1時間あたり260〜300本のウェーハを迅速に処理し、優れた均一性を実現します。プロセスパラメータを完全に制御して、再現性と一貫した結果を保証し、製品の信頼性と歩留まりを向上させることができます。
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