中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe #293642910 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIeは精密エッチャーと精密アッシャーです。この産業クラスの機械は6"の基質のサイズの機能の12"直径のFOUPの基質のホールダー、統合された電子ビーム装置、18 "X線検出器および任意レーザーのスクライバーを特色にします。それはまた調節可能な速度およびコンピュータ制御プロセスが付いている統合されたターンテーブルを特色にします。TEL Unity IIeは、今日市場で入手可能な最も先進的なエッチャーとアッシャーの1つです。化合物半導体生産のための石英、ガリウムヒ素、ゲルマニウムウエハー、先進包装用の低k誘電体、薄膜フォトマスク、マイクロエレクトロニクス用の薄膜など、幅広い基板を取り扱うことができます。TOKYO ELECTRON Unity IIeのコマンドセットは印象的で、エッチングとアッシングのプロセスを非常に正確に制御できます。専用のエッチングおよびアッシング機能により、それぞれのプロセスを独立して制御し、複雑で洗練された処理を可能にします。さらに、Unity IIeには、機器の操作とパラメータ設定のための集中制御パネルが装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIeは、基板の供給と加工の面でも柔軟性を提供します。Front Open Un-Load/Load （FOUP）とマニュアルローディングシステムを組み合わせており、手動でロードされた基板と自動基板を切り替えることができます。さらに、システムのメモリに保存し、自動基板スイッチングプロセスで使用できる処理レシピの包括的なライブラリもあります。TEL Unity IIeのさらなる機能として、18インチのセンサーを搭載したX線検出器が内蔵されており、エッチングやアッシュ処理の進行状況を監視できます。また、温度センサを搭載し、加工サイクル中のサンプル温度を一定に保つことで、基板の欠陥や破損の可能性を最小限に抑えます。TOKYO ELECTRON UNITY IIeは、高度なプロセス制御機で、ユーザーのニーズに応えるエッチングとアッシングツールを提供します。洗練されたコンポーネントと直感的なオペレータインターフェースの組み合わせにより、さまざまな研究および生産作業に最適なツールです。