中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EM #9091879 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EMエッチャー/アッシャーマシンは、半導体製造プロセスにおけるプラズマエッチングおよびドライアッシング用に設計されたドライエッチングおよびアッシング装置です。システムはマルチステーション、マルチプロセス機能で設計されており、複数のプロセスを1つに統合できます。これは、自動洗浄と乾燥機能を備えた密閉チャンバーユニットを備えており、制御された反復可能なプロセス結果を伴う材料の破損を低減します。TEL UNITY IIE 85IEMは、プラズマエッチングおよびアッシング工程で均一なチャンバー圧力を維持するために、低周波無線周波数セクションを備えたハイテクなデュアル周波数ジェネレータと高周波源を備えています。このマシンは、選択した領域でエッチングを見つけて促進するためのアクティブサセプター要素で設計されています。アクティブサセプター素子は、レジストマスクの化学的侵食やエッチバックを低減するのにも役立ちます。TOKYO ELECTRON UNITY II 85IEM Etcher/Asherには内部ガス組成モニタリングツールが搭載されており、ガス濃度を継続的に分析・監視することができる正確なプラズマガス組成制御が可能です。また、機械化された負荷とアンロードのための堅牢なクラムシェルスタイルのドアが付属しています。エッチャー/アッシャーは、迅速かつ簡単にプログラマブルなレシピプログラミングでエッチングとアッシングを柔軟に切り替えることができます。すべてのターゲット物質的な変数はガスの流れ制御および均一な基質の温度と正確に調節することができます。このアセットは、レシピの読み込みごとに正確な再現可能な温度プロファイルも提供し、簡単なセットアップと迅速なジョブ補正を可能にします。包括的なデータロギングを備えた統合された高度なプラズマエッチング監視モデルは、リアルタイムのレシピ実行トラッキングを提供します。TEL UNITY II E 85IEMは、オペレータ、材料、環境を保護するための高い安全基準を提供し、完全に自動化された安全装置で設計されています。また、レシピログ機能を備えた直感的なHMISソフトウェアと多言語サポートオプションが付属しているため、さまざまな能力と言語背景を持つユーザーが簡単に操作できます。TEL Unity IIe 85I EM etcher/asherは、半導体製造プロセスにおいて有効なシステムであり、最大歩留まりと再現性の高い結果を実現する信頼性の高いプロセス制御を提供します。