中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #9219713 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DDは、多種多様な半導体ウェーハを加工するマルチチャンバーエッチャーです。このデバイスは独自の85DDチャンバプロセスで設計されており、迅速かつ正確なエッチング結果を提供します。装置は、エッチング処理を完了するために一緒に動作する2つのプロセスチャンバーで構成されています。1つ目のチャンバはウェットエッチングやドライエッチングなどの標準的なエッチングプロセスを実行することができ、2つ目のチャンバはプリクリーニングおよびポストエッチングプロセスに専用されています。この2チャンバーシステムは、セットアップを手動で変更することなく、異なる材料の効率的かつ正確なエッチングを可能にします。TEL Unity IIe 85DDには、マルチガスデリバリーユニットと特許取得済みの電気空気圧ガススイッチングマシンが装備されています。このツールを使用すると、反応ガスや不活性ガスの流れを正確に制御することで、エッチング処理を制御することができます。このユニットにはPEPE、またはポリマーおよびエネルギーティクスのプラズマエッチングも装備されており、ポリマーやその他の敏感な材料を処理するように特別に設計されています。PEPEアセットは、レーザーエネルギーの超短パルスを使用して、敏感な材料に小さな機能を作成するデュアルヘッドレーザー配置です。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DDは、安全性と環境保護の業界最高水準を維持するために構築されています。単位の封じ込めのドームは処理の間に発生した空気中の粒子が部屋の外で脱出することを防ぎます；さらに、チャンバーには、ガスの圧力と流れを自動的に調整して安全な動作を保証する酸素監視モデルが装備されています。その他の安全機能には、自動シャッター操作、統合された消火装置、および地上障害遮断スイッチがあります。TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DDの直感的なインターフェースにより、ユーザーはシステムの設定に簡単かつ迅速にアクセスできます。ユニットの統合プロセスソフトウェアに加えて、ユーザーはスマートフォンや他のワイヤレスデバイスを介してユニットをリモートで制御することもできます。UNITY IIE 85 DDは、半導体メーカーの高度なエッチングニーズに適した最適化された汎用性の高いエッチャーです。その高度な機能、統合された安全システム、直感的なユーザーインターフェースにより、このユニットはあらゆる半導体エッチング用途に最適です。