中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #293760242 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DDは、プラズマや化学プロセスを利用してチップや回路などの小型デバイスを製造するエッチャー/アッシャーです。この装置は、幅370mm、奥行き50mm、高さ500mmのメインチャンバーと、エッチングする材料（シリコンウェハー、ガリウムヒ素、サファイアなど）を保持するための内部容器で構成されています。このデバイスは、RS-232通信を介してコンピュータに接続され、エッチングプロセスを完全に自動化するためにいくつかの作業モードで構成されています。TEL Unity IIe 85DDは、高度なエッチャーヘッドデザインを採用し、4つの角度方向ジェットと4つの集中円筒形ジェットを備えたノズルを備えています。このジェット機は、プラズマや化学物質をワークに均一に供給し、スムーズなエッチング出力を可能にします。エッチングのプロセスは、チャンバー内のガスの組み合わせと60MHzマイクロ波発電機によって生成されるエネルギーの供給から始まります。このエネルギーにより、ワーク全体に均一なプラズマ分布が生じ、導電電流が発生してワーク材料が分解されます。さらに、プラズマエッチング工程と組み合わせて様々な薬品を使用し、精度を高めます。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DDの最大の特徴は、全自動プロセス制御機能です。クローズドループ制御装置を使用して、温度、圧力、露出時間、プラズマ配信速度などの作業パラメータを正確に調整します。これにより、正確なエッチング結果が保証され、誤ったエッチング条件による材料損傷の可能性が最小限に抑えられます。さらに、システム内に酸素や水分センサーが存在するため、使用する材料の変化に応じてエッチング条件を自動調整することができます。最後に、UNITY IIE 85 DDは幅広い安全機能を提供します。部屋の内部は熱損傷から保護し、単位内の突然の圧力変化による事故を防ぐためにステンレス鋼の真空エンクロージャと造られます。このデバイスには、マシンビジョンマシンと複数のセンサーベースのシステムが装備されており、プロセスを継続的に監視し、安定性を確保します。さらに、緊急シャットダウンツールを使用すると、予期しないイベントが発生した場合に、エッチング処理を迅速に中止できます。