中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #143996 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DDは、精密プラズマエッチャーとアッシャーで、メーカーに先進的なプロセスを提供します。負荷ロックされた高密度プラズマ源を搭載し、迅速なプロセス起動と安定した高スループットエッチングと灰プロセスを可能にします。エッチャー/アッシャーは、プロセスレシピをAUTO-TUNE誘電体エッチングおよびAuto-TUNEシャワーヘッドプロセスと統合し、最適化された誘電体エッチングと改善されたトランジスタ性能を実現するTELハイレベルE-packレシピプラットフォームによって駆動されます。TEL Unity IIe 85DDは、ドライエッチング、ドライリリース、ドライプラズマエッチング、オーバーエッチングなど、さまざまなカスタマイズ可能なエッチングおよびアッシュプロセスを提供します。ドライエッチングプロセスは、毎分0。2nmのエッチング速度を持つドライエッチングプロセスであり、DRAM、フラッシュメモリ、その他のハイエンド集積回路用の高性能トランジスタの製造に最適です。ドライリリースプロセスは、最下層を劣化させるプラズマ条件を使用して、最上層でプッシュバックを実行することにより、ウェハレベルのマスキングレイヤーを解放することができます。このドライプラズマエッチプロセスは、アスペクト比が3以下の超低角度エッチプロファイルを生成しますが、オーバーエッチプロセスは高い電源プロファイルを使用して最適なエッチプロファイルを実現します。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DDは、高度なガス配分装置を使用して、プロセスで使用されるエッチングおよび灰ガスを正確に制御および監視します。シャワーヘッドと負荷ロックされた高密度プラズマ源を組み合わせることで、ウェーハ表面における均一なイオン爆撃が可能となり、より高い蒸着速度で均一なエッチプロファイルが得られ、ウェーハ歩留まりが向上します。TOKYO ELECTRON Unity IIは、高度なクローズドコントロールループシステムを85DDし、エッチングと灰のプロセス条件を継続的に監視し、レシピコントロールユニットにフィードバックしてプロセス精度を向上させます。さらに、UNITY IIE 85 DDは安全な操作と使いやすさのために設計されています。エッチャー/アッシャーには、高解像度の12インチタッチスクリーンコントロールパネル、およびエッチングおよび灰プロセスの結果を簡単に表示するための3Dトレイ表示機能が装備されています。Unity IIe 85DDには、安全な動作を保証するためにプロセスを継続的に監視する包括的な監視マシンが含まれているため、稼働時間が改善され、クリーニング時間が最小限に抑えられます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DDは、信頼性の高い汎用性の高いプラズマエッチャーおよびアッシャーであり、製造業界に最適な高スループットプロセスを提供します。その信頼性の高いエッチングおよび灰プロセス、カスタマイズ可能なガス分配ツール、高度なクローズドコントロールループ資産、直感的なユーザーインターフェイスにより、中小規模の製造アプリケーションに最適です。