中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9292571 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS Etcher/Asherは、フォトマスクやレチクルなどのパターンサーフェスをエッチングしてアッシングするための汎用性の高いハードウェアソリューションです。このシステムは、多段階プロセスを使用して、幅広いプロセスで温度、ガスの流れ、電力レベルを正確に制御します。TEL UNITYIIE-855 SSは、加水分解エッチングチャンバー、真空ステージ、過酸化水素バス、およびブロードリーチャンバーを備えています。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSは、フォトマスクやレチクルを1つのユニットで素早く正確にエッチング・アッシングできるように設計されています。インテリジェントなプロセス制御により、ウェーハの熱予算と温度ドリフトを制限することができます。さらに、高感度温度センサを搭載し、パターン表面のすべての点で均一なエッチングおよびアッシング条件を維持します。これにより、より高い精度と高い歩留まりが得られます。UNITY IIE 855 SSの加水分解エッチングチャンバーには、高度なVCA （Voltage Controled Activation）プロセスが搭載されており、幅広いエッチングおよびアッシング用途において、一貫した反復可能な結果を提供します。これには、エッチング、コーティング、およびフォトマスクやレチクルの加工に使用されるような薄い層を除去することが含まれます。このチャンバーには、基板の効率的な積み下ろし、スルーポットと信頼性を向上させるための堅牢なロードロックシステムも含まれています。TOKYO ELECTRON UNITY II 855SSには、エッチングとアッシングのプロセスを増幅、強化、拡張するために使用される過酸化水素バスが装備されています。この過酸化浴は、汚染物質を除去することも可能であり、プロセスにさらなる精度を提供します。浴槽は、エッチングまたは灰にされている表面のすべての部分にわたって均一なエッチングとアッシング条件を維持するために温度制御されています。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SSには、エッチングやアッシング材を排出し乾燥させる吹き出し室があり、よりクリーンで均一なエッチングまたはアッシング結果が得られます。ブロードリーチャンバーには可変スピードファンが装備されており、乾燥効率と精度が向上しています。この効率的な乾燥手順により、潜在的にコストのかかるエラーのリスクを最小限に抑え、製品歩留まりを最大化します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSは、フォトマスクやレチクルなどのパターンサーフェスに最適なエッチャーとアッシャーです。その汎用性、信頼性、精度により、エレクトロニクス製造設備に不可欠なソリューションとなり、生産性と製品品質の両方を向上させます。