中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9236831 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SSは、基板洗浄プロセスの精度と精度を簡素化し、向上させるために設計された洗練されたエッチャー/アッシャーです。この装置は、高温環境で高圧、揮発性の化学物質を使用することにより、基板からの汚染物質を効率的かつ迅速に除去するように設計されています。このシステムには、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスと、必要な精密なエッチングまたは灰を可能にする柔軟なモーションユニットが含まれています。TEL UNITYIIE-855 SSは1000°Cまでの温度と300ワットまでの電力を使用して動作するように設計されています。ユニットは、16面ゲートと特許取得済みの反射ライナーに囲まれた506 x 506 mm加工チャンバーを備えています。これにより、基板全体のプロセス環境の均一性を維持し、エッチング処理に影響するホットスポットや不均一な加熱のリスクを最小限に抑えることができます。冷却された媒体の配達管がプロセスの間に基質の精密で、一貫した媒体の流れを提供するのに使用されています。このマシンには、連動したアクセスパネル、自動安全シャットダウン、緊急停止ボタンなど、さまざまな安全機能も含まれています。このツールには、ユニットが過負荷にならないように電力供給を測定するパワーモニターも含まれています。また、TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSには自動診断機能が内蔵されており、プロセス中にいつでも資産パフォーマンスを確認することができます。これにより、モデルがピーク時に動作していることを確認できます。TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SSは、プロファイルチューニング、基板トラッキング、圧力および温度調整、およびライブチャンバーイメージングを使用して、高度なプロセス制御を可能にします。さらに、装置は、より複雑な基板処理をサポートするために、他のツールと組み合わせて使用することができます。これには、高精度で複雑なマルチステージエッチングまたは灰プロセスを実行する機能が含まれます。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SSは、個々のアプリケーションのニーズに合わせて、正確で信頼性の高い効率的な基板処理システムを提供します。このユニットは、高度な安全機能と監視機能を備えた使いやすく維持できるように設計されており、すべてがエッチングまたはアッシングプロセスが安全かつ正確に制御されていることを保証します。UNITY IIE-855SSは、小型から大型の基板まで、エッチングおよびアッシング用途に最適です。