中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9177764 を販売中
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ID: 9177764
Oxide etcher
SCCM
RF generator (power supply):
Top: Daihen AGA27AIA
Low pass filter: Daihen HFA-27B
Bottom: Daihen WGA-30A
Matcher:
Top matching box: DAIHEN AMN-30C9
2MHz cut filter: DAIHEN WFL-01A
BTM Matching box: DAIHEN WMN-30E
Matcher controller: DAIHEN CB-13A
Capacitance manometer:
Process monitor: MKS 627B-15405
Process monitor: MKS 33.3 Pa
Pressure control valve:
VAT 65046-PH52-AEP1
P/C Unit box:
Multi DC Power supply: SANKEN MLT-DCBOX5 HV-DC Supply: KYOSAN DC HV-PS AC Servo driver: YASKAWA SED-01 AP
Gas box MFC:
Gas1: C5F8/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas2: C4F6/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas3: CH2F2/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas4: O2/2020 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas5: O2/500 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas6: Ar/1000 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas7: CHF3/100 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas8: CF4/100 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas9: N2/500 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas10: CO/1000 Sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Back pressure MFC:
Edge: He/50 sccm AERA FC-780XC
Center: He/50 sccm AERA FC-780XC
Edge back pressure:
Capacitance manometer: MKS 622A12TBE
Capacitance manometer: MKS 13333.3 Pa
Pressure control valve: STEC SV-P003
Center back pressure:
Capacitance manometer: MKS 622A12TBE
Capacitance manometer: MKS 13333.3 Pa
Pressure control valve: STEC SY-P1203
BA Gauge ANELVA M430HG.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SSは、様々な素材に高精度なパターンを作成するために設計されたエッチャー/アッシャーです。マルチウェーハ処理による高真空エッチング/ストリッピング機能を備えています。このエッチャー/アッシャーには、最適化された精度で、エッチング/アッシングのプロセス全体を自動化する制御ソフトウェアスイートがあります。チャンバーの設計により、オペレータへのウェーハ表面の高い可視性が確保され、粒子の汚染を防ぎます。TEL UNITYIIE-855 SSは最大8インチウェーハを処理でき、プロセスチャンバー容量は400リットルです。デュアル周波数RFジェネレータを搭載し、パラメーター調整を自動化しています。このチャンバーはまた、パターニングの精度を最大限に高めるために、低エネルギーのプラズマ源を利用しています。真空チャンバーの温度は、シリコンや有機基板など、さまざまな材料で5〜250°Cまで調節できます。また、Ar、 O2,CF4、 CHF3などの複数のプロセスガスもサポートしています。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSは、エッチング/アッシングサイクルタイムを半減させ、極めて高いスループット速度を実現するよう設計されています。プロセス監視用のCCDカメラと、粒子除去効率を正確に測定するガンマ線センサーを備えています。また、エンドポイント検出システムと自動ウェーハ転送機能を備えており、簡単に自動化された操作が可能です。ユーザーは、Ethernet接続を介してエッチャー/アッシャーの状態をリモートで監視できます。このデバイスには、プロセス環境を監視し、粒子の汚染を防止するための清浄度検証システムも内蔵しています。また、オンラインとオフラインの両方のレシピシステムを備えており、いつでもエッチング/アッシング設定を保存およびリコールできます。UNITY IIE-855SSは、さまざまな材料の精密パターニング用に設計された強力なエッチャー/アッシャーです。非常に高速な処理速度で高精度な結果を得ることができ、産業および研究用途に最適な機器です。
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