中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042813 を販売中
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販売された
ID: 9042813
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Oxide etcher, 8"
(2) Process chambers
Wafer type: flat
Signal tower: (3) lamps, (2) sides (front and back)
chamber type: Unity SCCM 2
Wafer handling type: vacuum load / unload station
Robot arm type: anodized aluminum
Wafer clamp type: ESC
ESC type: ceramic
EPD: both chambers
EPD type: EPD 30X
Transfer chamber configuration:
C/C1 Pressure switch: Leybold PS 113 16014
C/C2 Pressure switch: Leybold PS 113 16014
T/C Convactron: Phillips 275203
T/C CM: MKS 6220 A01 TDE, 1 Pa capacity
PCV Unit: STEC SV-P1000
DC power supply: SANKEN MLT-DCBOX5
Transfer robot: YASKAWA VS2C
RC/ELC1: YASKAWA SRC-II 015
RPA/ELC2: YAWKAWA SRC-II 016
Wafer alignment: YASKAWA VOSJ
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SSは、フォトリソグラフィープロセス用に設計されたエッチャー/アッシャーです。半自動で、使いやすいデザインで高度な機能を提供します。TEL UNITYIIE-855 SSは、ケイ酸塩風呂を内蔵したステンレス製タンクと低塵集塵機で構成され、清潔な作業環境を提供します。また、緊急停止機構などの追加の安全対策も備えています。このユニットは、最大500オームの化学抵抗性を提供し、エッチング工程全体でアングストロムレベルのプロセスが安定した状態を維持するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSは、トラブルシューティングを容易にするために診断機能を統合しました。このシステムには、使いやすさを容易にするための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が装備されています。制御システムは、自動的にプロセスパラメータを監視し、レシピを最適化するために簡単に調整することができます。制御システムは各プロセスのための反復可能で、信頼できる結果を保障します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITYIIE-855 SSは、精度を確保するため、包括的なプロセスモニタリングを提供します。エッチャー/アッシャーは、各プロセス中に継続的に監視し、ユーザーにフィードバックを提供します。また、プロセスの温度、圧力、周波数など、各プロセスに関するデータを提供することもできます。また、完成したレシピを保存する機能や、ユニットの操作をプログラムする機能などの高度な機能も備えています。TEL UNITY IIE-855SSは、コンパクトなフットプリントを提供し、最大9つのワークステーションを処理できます。エッチャー/アッシャーは、バッチ操作とシングルウェーハ操作の両方に対応しています。さまざまなプロセスで使用できる幅広い流体を備えています。プログラマブル性に優れ、各種エッチング・アッシング機器で使用できます。UNITY IIE-855SSは、信頼性の高い強力なエッチャーとアッシャーユニットです。さまざまなプロセスを実行しながら、精度と再現性を確保するための高度な機能を提供します。エッチャー/アッシャーは、使いやすさとクリーンな作業環境を顧客に提供するために設計されています。包括的なプロセス監視機能を備えており、各プロセスの詳細なデータを提供できます。幅広いプロセス能力を備えたこの製品は、高速かつ効率的なフォトリソグラフィープロセスを必要とする人々に適しています。
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