中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042735 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIエッチャー855SSアッシャーは、様々な誘電体、ボンディングパッド、絶縁膜エッチングおよびアッシング工程に、信頼性の高い効率的なソリューションを提供します。高度なエッチング/アッシング技術と使いやすい操作を組み合わせ、メンテナンスを最小限に抑えて一貫した結果を提供します。TEL UNITYIIE-855 SSエッチャー/アッシャーは、最高の効率と省スペースを実現する高度なシングルチャンバー設計を備えています。これは、統合されたガス分配装置を備えており、ユーザーが手元のジョブに最適なプロセス流量を選択することができます。エッチャー/アッシャーはまた、統合された加熱シャワー設計を持っています、チャンバーを循環する粒子やガスの数を減らすためにフィルターのいくつかの層を組み込みます。さらに、このシステムは、単一の簡単にアクセスできるロールインオーブンを備えており、迅速なロードとアンロードを可能にします。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSエッチャー/アッシャーは、最適な結果を得るための優れたプロセス制御を提供します。そのデジタルプロセスレシピは、最大48のプログラム可能なステップを保存することができ、複数のプロセス変数に効率的に対処することができます。このユニットはまた、設定が範囲外になった場合に自動データ補正を備えたプロセスモニタリングマシンを備えています。さらに、UNITY II E855SSエッチャー/アッシャーには、プロセスを継続的に監視し、動作中に必要な調整を行うためのSPC (Statistical Process Control)ソリューションが含まれています。安全面では、TEL UNITY IIE 855 SSエッチャー/アッシャーは、危険物への曝露を低減し、相互汚染のリスクを低減する信頼性の高い保護ツールを提供します。粒子濃度の低減を目的としたHEPAフィルターエアフロー資産を備えており、潜在的な危険性を監視し、必要に応じて自動的にシャットダウンする自己診断モデルも含まれています。全体として、TEL UNITY II E855SS Etcher/Asherは、誘電体、ボンディングパッド、および絶縁フィルムエッチングおよびアッシングプロセス用の信頼性の高い効率的な機器です。その高度な技術と直感的な操作は、さまざまなアプリケーションに最適です。
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