中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9033646 を販売中
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ID: 9033646
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
Oxide etcher, 8"
Flat-zone wafer type
(2) Chambers
Mass flow controller
GAS #1 C5F8 20
GAS #2 C4F8 20
GAS #3 CF4 100
GAS #4 CHF3 50
GAS #5 CH2F2 50
GAS #6 AR 1,000
GAS #7 O2 50
GAS #8 P-N2 500
Pressure controller
ISO V/V (PC1) VAT 65048-JH52
ISO V/V (PC2) VAT 65048-JH52
Gauge
Baratron MKS 627B-15405
Baratron MKS 627B-15405
Robot YASKAWA VS2C
Robot controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WGA-30C
Generator (PC2) DAIHEN WGA-30C
Matcher (PC1) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
AC RACK (PCB BOARD):
SVA031
Not included:
TEB107
TEB162
GST-M-SET
TVB0008
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
DIO3: Not included
MAIO
ILK
PC1 (PCB BOARD):
APC
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
PC2 (PCB BOARD):
APC: Not included
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SSは、優れた性能とプロセス能力を提供する次世代シングルウェハプラズマエッチングツールです。高度なプラズマ源を備えており、プロセスの均一性を最適化し、コンポーネントの侵食なしで正確なガス制御を提供します。TEL UNITYIIE-855 SSには、特許取得済みの低温拡散プラズマ源があり、最大スループットで優れた性能を発揮し、反応種の高精度制御に優れています。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSは、-60°Cの低温に到達できる高精度ウェハステージを備えています。この段階は、望ましい特性を持つ表面を作成するのに最適な、強化された堆積プロセスを提供します。ウェハステージは、エネルギーの正確かつ均一な分布を保証する最先端のモーターおよびステッピングコイル装置によって駆動されます。PC制御の生産システムには、エッチングプロセスのリアルタイム監視を提供し、問題が発生した場合にユーザーに警告することができる高度な診断ユニットも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SSには、ウェーハと真空チャンバの間の粒子や汚染物質の機械的移動を排除する完全統合マシンも搭載しています。この包括的なツールは、最高レベルの洗浄性とプロセスの再現性を保証します。また、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SSでは、化学蒸着（CVD）やリアクティブイオンエッチング（RIE）をはじめとする幅広いチャンバー構成をエッチングに対応しています。TEL UNITY IIE 855 SSはエネルギー効率に優れた設計で、他のエッチングツールに比べて消費電力を抑えながら高速走行が可能です。その高度な制御ソフトウェアは、ウェーハのロードとアンロードを容易にする無人の操作と自動レシピ、生産データ、校正履歴、パフォーマンスに関する情報を提供する統合されたオンライントラッキングアセットを可能にします。全体として、TEL UNITY IIE-855SSは、優れたプロセス機能とコスト削減を実現する高性能エッチングツールです。その高度な技術、エネルギー効率の高い設計、包括的な制御モデルにより、エッチング用途において信頼性が高く効率的な選択肢となります。
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