中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP #197627 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SPは、精密加工用に設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。高い信頼性と適応性を兼ね備えたシステムで、広範囲の基板の開口部、通路、穴を精密に作成することができます。プロセス自体は、より高いスループットと品質向上のためにエッチングとアッシングパラメータを最適化する包括的なソフトウェアによって導かれます。TEL Unity IIe 855SPは、高導電層の高速かつ正確なパターニング、ウェーハ曲率/テーパ補正、不規則または不均一な基板へのエッチングなどの機能を備えた強力な電子ビームプラットフォームを利用しています。直径2。3nmのビームサイズ、0.48µmのステッチ解像度、± 2％の均一性を有し、高解像度フォトレジストや微細構造の基板に適しています。電子ビームパターン速度は最大375mm2/hrです（プロセスパラメータによって異なります）。TOKYO ELECTRON Unity IIは、精度と均一性を確保するために、専用のスキャン光学パッケージと、自動プロセス最適化のためのデータ収集/処理スイートを備えた強力なコンピュータユニットを備えた855SPです。スキャン光学系は、精密なパターン制御を提供し、最大4つの電子インプラントを使用して反復可能な層プロファイルを保証します。機械にまた原料からの最終装置への各プロセスステップの精密な制御を可能にする高度制御ソフトウェアパッケージがあります。それはまたユーザーが各ステップのためのイオン種、電圧、流れおよびエネルギーを制御することを可能にします。Unity IIe 855SPのプロセスレシピ管理により、迅速なプロセスオートメーションのためのパターンの保存、リコール、変更が容易になります。フォトリソグラフィ、プラズマエッチング、電子ビーム蒸発などの混合およびモノリシックプロセスをサポートすることができます。簡単なレシピ設定と監視インターフェイスにより、構造化されたプロセス開発が容易に行えます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SPは、精密加工用に設計された信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャツールです。広い基板の開口部、通路、穴の作成において非常に効率的であり、精度とスループットを向上させるための柔軟なプロセス自動化をサポートします。