中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855PP #9142653 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855PP
ID: 9142653
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Oxide etcher, 8" 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855PPは、様々なワークに精密エッチングを施す高度なエッチングシステムです。このエッチャーまたは「アッシャー」は、さまざまなエッチング用途で優れた精度と再現性を提供します。アッシャーの機能には、高度な集積回路(IC)マスク処理機能、レーザーアライメントオプティクス、デジタルインターフェイス、高度な残留除去システムなどがあります。アッシャーは、最高レベルの精度を提供しながら、サイクルタイムを短縮し、最大のプロセススループットを提供するように設計されています。アッシャーにはマイクロコントローラ制御のプログラムされたインターフェースが内蔵されており、レシピを簡単に切り替えることができます。レシピバリアントは、エッチングアプリケーションに必要なパラメータに基づいてアッシャーにロードされます。自動化されたワークテーブルを備えており、様々なワークに対応できます。これには、ワイドエッチングタンクと多面プレートが含まれます。アッシャーはまた、エッチング処理がきれいで効率的であることを保証する真空システムを持っています。自動アライメントシステムを使用して、ICマスクを正確に処理することもできます。レーザー光学アラインメントは、エッチングが再現性と正確であることを保証します。さらに、TEL Unity IIe 855PPは、高度な残留除去システムを備えています。これらのシステムは、エッチング工程からの汚染がないようにします。アッシャーはまた、材料や表面の広い範囲をきれいにすることができます。これには金属やプラスチックが含まれます。このユニットは、最高の精度と再現性を確保するために、データロギングと分析のためのデジタルインターフェイスも備えています。これにより、エッチングプロセスは時間の経過とともに一貫した再現性が保証されます。さらに、デジタルインターフェイスはエッチャーを非常に使いやすくし、管理します。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 PPはパワフルで高精度なエッチャーまたはアッシャーです。多種多様なエッチング用途において、卓越した精度と再現性を提供します。また、高度なICマスク処理機能、レーザーアライメントオプティクス、デジタルインターフェイス、および高度な残留除去システムを備えています。デジタルインターフェイスにより、使いやすく管理できます。自動化されたワークテーブルは、プロセスが効率的かつクリーンであることを保証します。これらの機能により、TEL UNITY IIE 855 PPは精密エッチングに最適です。
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