中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9236727 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855IIは、半導体用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。小型フットプリントマシンでの高度なエッチング/アッシュ機能を幅広く提供します。TEL UNITYIIE-855 IIはチャンバーサイズが676×762×457 mm （W×D×H）で、所定のバッチで多数のワークを加工できます。4インチから12インチまでの複数のウエハサイズに対応し、最大62個のウエハのNAD容量を備えています。パラレルシャッターエッチング/アッシュ方式を採用しており、精密なアスペクト比で均一な薄層処理が可能です。また、フロントサイドのトリプルパターニング機能も備えており、従来のエッチング/アッシュと比較してプロセスを高速化できます。Unity IIeにはマルチチャンバーのシーケンシャルプロセスアーキテクチャが組み込まれているため、プロセスは1つのチャンバに再結合する前に異なるチャンバーで個別に発生します。1回の実行で1つの基板に最大9つの異なるプロセスを組み合わせることができ、トータルサイクルタイムはそれに応じて調整されます。モジュラー設計により、ピッチローテータなどのツーリングアクセサリーも素早くユニットに組み込むことができます。Unity IIeには、ガス融合とメンテナンスサイクルを削減するためのin-situガス精製機があります。この機器はTELデジタルコントローラと完全に互換性があり、パラメーターの自動実行とツールモニタリングが可能です。Unity IIeは、5軸ロボットビームにより、チャンバー間での高速ウェーハ転送が可能な多周波操作が可能なスマートロボティクスにより、資産運用全体の精度を確保します。また、Vision Alignment Model （VAS）を搭載しており、重要なアライメント精度を確保し、自動OCRおよびOMSマーキングを作成します。装置の基圧レベルは印象的な5 x 10-5 torrであり、基板クランプ真空技術を使用して10Xまでブーストすることができます。また、大容量のI/Oインターフェイスを備えており、ホストコンピュータシステムとの間の効率的なデータフローを提供します。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 IIは、小型フットプリントで幅広い機能を提供する高度なエッチャー/アッシャーユニットです。エッチング/アッシュ時に高精度を必要とする半導体アプリケーションに最適で、1回の実行で最大62個のウェーハに対応できます。先進的なロボティクスを搭載し、ガスフュージョンとメンテナンスサイクルを低減するために、in-situガス精製機とともに重要なアライメント精度を確保しています。TOKYO ELECTRON Digital Controllerとの互換性が高く、薄膜コーティング、誘電エッチング、基板パターニングなど幅広い用途に最適です。