中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9142650 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855IIは、半導体・フラットパネル業界を中心に、ウェーハの高精度エッチング・剥離プロセスを実現する高度なエッチング・アッシング装置です。このシステムは、極めて高いエッチング精度と再現性を備え、標準およびディープエッチングの両方の動作が可能で、最先端のデバイス製造に最適化されています。このユニットは、簡単かつ直感的な操作とプログラム管理のための自動ホストコンピュータインターフェイスを備えています。TEL UNITYIIE-855 IIには、最大限の柔軟性と効率を実現する1つのユニットとして、4つの独立して制御されたプロセスチャンバーがあります。船舶設計は、さまざまなエッチング用途に電力と柔軟性を提供します。ガスコントロールマシンはビーム電流を正確に制御し、ダイナミックエッチングレートを最適化して速度と精度を向上させます。Unity IIeには、さまざまなエッチング操作を自動化する包括的なプロセス制御ソフトウェアパッケージが付属しています。ユーザーが選択可能なエッチングオプション、および事前にプログラムされたプロセスライブラリを提供し、ユニットを迅速にセットアップできます。データ分析は、プロセス計算とスループットデータの正確な記録で簡単です。内蔵のグラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーはすべての基本的なコントロールにアクセスできます。一方、パラメータデータベースマネージャを追加することで、プロセスレシピとデータベースパラメータの長期アーカイブが可能になります。エッチング以外にも、TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 IIツールは、高度なストリッピングプロセス機能も備えています。特殊な剥離/エッチング/バリア層の除去プロセスにより、高精度な結果が得られ、タイミングと選択性が制御され、工具の歩留まりと性能が向上します。結論として、TEL UNITY IIE 855I Iは高度なエッチング/アッシング資産であり、ユーザーに高度な制御と精度を提供します。自動化されたユーザーインターフェイスと包括的なプロセスコントロールソフトウェアにより、操作が簡単になり、汎用性の高い船舶設計と最適化されたダイナミックエッチング速度は、最高速度と精度を提供します。さらに、特殊なストリッピング機能により、工具の歩留まりと性能を最大限に高め、半導体およびフラットパネルデバイスの効率的かつ正確な製造を可能にします。