中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #293764220 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855IIは、幅広い成膜・エッチング加工が可能な高度なエッチャー/アッシャー装置です。これは、エッチング機能の最適な均一性と再現性を確保するために統合されたウェーハクラッディングシステムを備えています。ウェットとドライウェーハの両方の処理能力を備えた8-Chamber反応ユニットを備えています。ウェーハクラッディングユニットは、複数のウェーハに対して均一な蒸着を保証し、均一で反復可能なエッチング機能を実現します。また、高品質、再現性、および低欠陥エッチングを可能にする真空補助チャンバーを備えており、汚染の低減と均一なウェットエッチング率を実現しています。TEL UNITYIIE-855 IIは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、サイクルタイムや均一性などのエッチングと蒸着パラメータをカスタマイズできます。複数のステップとプロセスを順番に実行するようにプログラムすることができ、ユーザーはより複雑なタスクに集中しながら、マシンは基本的なウェーハ処理を処理することができます。このツールの複数のレバー操作により、より効率的になり、全体的な歩留まりが向上します。東京エレクトロンユニティIIE 855 IIは、クローズドループ制御モデルを搭載したロボットウェハートランスファーアセットを搭載し、精密な機械制御とプロセス制御を可能にします。さらに、ウェーハIDと追跡装置を内蔵しており、効率的なトレーサビリティと生産稼働の記録保持を提供します。ユニティIIe 855IIは、シリコン、アルミニウム、銅、ステンレスなどの複数の基板を処理することができます。その高度なウェーハ処理能力は、今日の競争の激しいエレクトロニクス業界で重要なデバイス歩留まりをoptmizeします。このシステムは、設置面積を最小限に抑え、クイックアクセスサービスパネルとメンテナンス用の簡単なチャンバーアセンブリを使用して定期的なメンテナンスとサービスを容易にするように設計されています。TOKYO ELECTRON UNITYIIE-855 IIは、エレクトロニクス業界向けに設計された強力なエッチャー/アッシャーユニットです。この汎用性の高い機械は、製造プロセスに効率的なソリューションであり、デバイスの歩留まりを増加させながら、汚染を最小限に抑えて優れたエッチング忠実性を生み出します。
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