中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293645123 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II（東京エレクトロンユニティII） 855DSは、ウェーハの洗浄と平面化を目的としたエッチャー/アッシャーです。直径300mmまでのウェーハ加工に対応できるモジュラー機器です。このシステムの主な特徴は、高解像度の平面化メカニズム、ストリップ型のサンプルローディング機構、および自動サンプル転送装置です。高精度のレジストモニターと高度な薄膜厚アナライザを搭載し、プロセス全体の品質管理を実現しています。さらに、このユニットは、複数のプロセス化学および温度と互換性のある高スループット平面化プロセスを提供するように設計されています。TEL Unity IIe 855DSは、高度で堅牢なマイクロコントローラマシンによって駆動され、データエラーのリスクを最小限に抑え、ツールの設定を正確に調整できます。その制御インターフェイスはユーザーフレンドリーであり、正確さ、効率性、安全な作業環境を確保するためのステップバイステップの指示を提供します。また、手動レシピの変更やマルチステップ操作モードなど、いくつかのプロセスカスタマイズオプションも提供しています。さらに、この資産は腐食性剤から保護されており、さまざまなスラリーを使用することができます。TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DSは、適切な空気の流れと換気を保証する高度な排気モデルによってサポートされています。また、ウェーハの位置を簡単に調整して最適な処理を行うためのアクティブエレベーター装置を備えています。また、自動洗浄ユニットを内蔵しており、機械の清浄度を維持し、欠陥の発生を防止します。さらに、プログラム可能なトレーローダーツールは、1つのプロセスから次のプロセスにウェーハを効率的に転送するのに役立ちます。Unity IIe 855DSの全体的な設計は、使いやすく、信頼性が高く、エネルギー効率に優れた資産を提供することに重点を置いています。そのアーキテクチャは高速な実行時間を提供し、最高レベルのプロセス効率を維持しながらサイクルタイムを短縮します。その統合された安全機能は、ユーザーに安心感を提供します。これは、腐食性および有害な化学物質を扱う場合に特に重要です。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DSは、ウェーハの洗浄と平面化のための信頼性が高く、エネルギー効率が高く、使いやすいソリューションをユーザーに提供することを目的とした先進的なエッチャー/アッシャー・モデルです。高速稼働時間、プログラマブルトレイローダー、アクティブエレベーター機器、自動洗浄システムを備えたこのユニットは、半導体製造およびその他の関連アプリケーションに最適です。