中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DSは、半導体製造のハイエンドエッチャー/アッシャーです。これは、相互接続層、スルーシリコンビア（TSV）、およびMEMSデバイスなどの半導体部品の製造のための精密エッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。TEL Unity IIe 855DSは、高精度の2軸移動装置と高度な制御システムを備えています。これにより、エッチャー/アッシャーは、均一性と制御性を向上させ、正確で安定したエッチングおよびアッシング処理を実現します。加工チャンバは、標準のエッチャー/アッシャーと比較して高温で強化され、より高いエッチング率に達することができます。TOKYO ELECTRON Unity IIの855DSには、汎用性の高いガス流量制御、高度なプロセスレシピ、クローズドループ、セルフチェック保護、自動中絶、高度なエンドオブラン検出など、独自の高度な機能も含まれています。これにより、高いプロセス効率、品質管理の向上、信頼性の高いエッチングとアッシングの経験が保証されます。Unity IIe 855DSは、8インチまでのさまざまなウェーハサイズを処理するように設計されています。1時間あたり最大600個のウェーハを実行でき、短いサイクルタイムを保証します。これにより、エッチャー/アッシャーは幅広い半導体生産ニーズに適しています。OPC-RI/RIE、ストリップアッシング、エッチストップエッチング、アニールなどの高度なプロセス技術を活用しています。安全性と環境性については、TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DSは、認証済みの超低リークバルブで構成されています。これにより、非常に密閉性が確保され、周囲の環境にガスが漏れるのを防ぐのに役立ちます。さらに、エッチャー/アッシャーは、毒性の低いさまざまなプロセスガスを使用し、危険ガスのレベルを監視するように設計された統合安全ユニットを備えています。TEL Unity IIe 855DSは全長わずか70cmのコンパクトなため、幅広い業界に適しています。また、非常に効率的なツールであり、運用コストを削減します。要するに、TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DSは、半導体製造のための精密かつ効率的なエッチャー/アッシャーであり、プロセスの高度化、品質管理、信頼性を提供します。高性能、環境安全性、運用コストの低さで知られています。