中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293646577 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DPはエッチャー/アッシャーです。ハイエッチングとクリーン機能を必要とする半導体プロセス用途向けに設計された高度なウェットエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、材料の精密エッチングが不可欠であるディスプレイやチップなどのマイクロエレクトロニクスおよびフォトニクスデバイスの製造に使用されます。ユニットは、プラテン表面上のウェーハを移動するために堆積力とドラッグ力の両方を使用する統合された水力機械スイープパルスを装備しています。これにより、エッチングサイクル全体にわたって効率的な材料除去と基板平坦性を実現します。さらに、統合された冷却ガス分配機CGDは、すべてのプロセスチャンバ部品を安全でない温度に達することを防ぎます。これにより、ツールは常に安全で制御された方法で操作できるようになります。TEL Unity IIe 855DPは、高度なエッチング機能とクリーン機能を備えています。アルゴンと塩素の両方を使用して基板上のデザインやパターンをエッチングするパルスエッチングプロセスを装備し、内部ビデオモニターはこれらのパターンの正確なエッチングを保証します。さらに、この資産は、プラズマやRCAクリーナーなどのメディアを使用して、エッチング工程中に基板に残された残留物を除去することができます。このモデルは高速で動作するように設計されており、最大スループットは16ウェーハ同期/秒です。また、数多くの温度制御、パルス、サイクルタイム、真空カセット、カセットスワップ機能を備えています。これにより、エッチングやクリーンなアプリケーションでも、信頼性と再現性に優れた結果が得られます。さらに、この機器にはWebベースの制御および監視ソフトウェアがあり、リモート管理とデータ収集が可能です。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DPは汎用性と精度の高いエッチャー/アッシャーです。これは、プロセス全体を正確に制御しながら、ハイエッチングとクリーンな機能を達成することができます機能の配列が装備されています。これにより、マイクロエレクトロニクスおよびフォトニクスデバイスの製造に不可欠なツールとなります。
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