中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DI #293645125 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIエッチャー855DIアッシャーは、幅広い基板に対応できる高性能な薄膜加工装置です。このエッチャー/アッシャーは、高度な技術で構築されており、非常に精密な制御でフィルムや層の除去と堆積を可能にします。TEL Unity IIe 855DIエッチャー/アッシャーには、高度なCCDイメージングシステムが搭載されており、プロセス性能をリアルタイムで監視できます。このユニットは、高精度のエンドポイント検出と、勾配密度やその他の複雑なプロファイルを必要とするレシピの自動調整を可能にします。TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DIは、オンボード抵抗型直流電源を搭載しています。この電源と自動化されたオーバーライド保護マシンにより、プロセス全体で最適な動作パラメータが維持され、一貫性のある結果が得られ、プロセスの再現性が向上します。Unity IIe 855DIは、フィルムのエッチングと堆積に最先端のシャワーヘッドスタイルのプラズマソースを使用しています。このソースは、作業面へのエネルギーの効率的な転送のために設計されており、効率的な加熱と冷却を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI etcher/asherは、カスタマイズ可能なさまざまな機能を備えており、ユーザーに制御の度合いを高めています。これらの機能には、完全に統合されたウェーハハンドラ、マルチゾーン熱処理、自動レベル制御、およびユーザーが選択可能なオペレーティングパラメータのフルレンジが含まれます。全体的に、TEL Unity IIe 855DIエッチャー/アッシャーは、幅広い基板やプロセスを扱うことができる強力で汎用性の高いツールです。リアルタイム監視機能と高度なプロセスパラメータを備えたこのアセットは、あらゆる薄膜プロセスに最適です。
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