中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9303715 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DDは、さまざまなデバイスや基板を製造するためのハイエンドエッチング/アッシュ機器です。高度な制御システムと直感的なユーザーインターフェイスにより、優れたパフォーマンスを提供します。このユニットには、最大8つの300mmウェーハまたは4つの600mmウェーハ用のウェーハキャリアを含む6つの独立したプロセスチャンバーがあります。高精度のリニアモータドライブを使用して、高速かつ正確なモーションコントロールを実現し、処理時間の短縮と高い生産性を実現します。TEL UNITY IIE 855 DDはメンテナンスを簡素化し、保守性を向上させるように設計されています。アンロードされたプロセスチャンバーは、清掃とメンテナンスのために完全に取り外し、プロセスを合理化し、ダウンタイムを大幅に削減できます。このマシンには、ウェーハの準備に費やす時間を最小限に抑え、より多くの処理時間を節約するデフォルトのルーチンも内蔵されています。品質を確保するために、東京電子ユニティII E-855DDには数多くの機能があります。このツールは、GEM、 SEMI 6。3、 SEMI 14などの業界標準に準拠しています。独自の高度な制御資産は、リアルタイムのデータ収集とフィードバックを使用して、エッチングと灰のパラメータを制御および最適化します。さらに、すべてのプロセスステップは、半導体プロセスの改善のために監視および制御されます。操作を容易にするために、UNITY II E- 855DDにはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが含まれています。これにより、ユーザーは設定をカスタマイズし、繰り返し機能のプロセスレシピをすばやく呼び出すことができます。画面上のヘルプとトラブルシューティングのアドバイスも利用できます。さらに、オンボードの診断システムは、簡単な問題の識別と迅速な解決を可能にします。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DDは半導体製造と研究開発のための効果的なエッチング/アッシュモデルです。高度な制御と性能により、優れた処理結果が保証され、ユーザーフレンドリーなインターフェイスとオンボード診断システムにより、セットアップとメンテナンスにかかる時間を最小限に抑えます。