中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9246928 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DDは、半導体デバイス製造における様々な用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、高品質のエッチングパターンとアッシャーエッチプロファイルを生成することができる垂直ローディングエッチャー/アッシャーです。その高度な設計は、最高レベルのデバイス信頼性を確保するために、最大のスループットと均一なプロセス条件を提供するために構築されています。TEL UNITY IIE 855 DDは、Pulsed ReverseTransformer （PRT）を使用して最大共振エッチング性能を実現します。プロセスコントロールソフトウェア（PCS） TLD32搭載しており、最適なエッチプロファイルとアッシャー結果を得るための正確で再現可能なプロセスサイクルを保証します。東京エレクトロンユニティII E-855DDには、エッチングおよびアッシング操作時にチャンバー圧力を正確に維持できる真空ゲート（VG）も組み込まれています。Unity IIe 855DDは、再現性と信頼性の高い処理を保証するために、多くの高度な機能を備えています。これらには、ガス分配システムを備えた重要度の高いチャンバー、高度なクローズドループ熱電冷却ループ、および2次元エンドポイント検出が含まれます。部屋はまた圧力変化を減らすためにステンレス鋼のベローズシステムによって囲まれています。チャンバー圧力は、ロータリー質量流量計でも監視されます。TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DDは、783mm x 858mmまでの基板に対応可能です。一貫したプロセスウィンドウとスループットを提供するように設計されており、40µmから600µmまでのエッチングパターンを最大限に効率化します。エッチャー/アッシャーには、大規模なウェハローディングシステムも装備されており、各アプリケーションに最適化された複数のレシピをサポートします。UNITY II E-855DDは、デバイス製造における信頼性と再現性の最高水準を満たすように設計されています。最高温度850°Cで動作し、最大10mTorrのプロセス圧力で動作します。エッチャー/アッシャーには、リモート操作とデータ追跡のためのRS-232とIEEE-488.2の両方のインターフェイスが付属しています。エッチャー/アッシャーは、最新の制御および診断システムでアップグレードすることもできます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 855DDは、高度な半導体デバイス製造のための高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーソリューションです。最高の結果を得るために、高いスループットと一貫性を提供するように設計されています。その高度な機能とシステムにより、半導体製造の厳しい要件を満たすことができます。このエッチャー/アッシャーは、優れた信頼性と再現性を維持しながら、高品質の材料パターンとプロセスプロファイルを生成することができます。