中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9109095 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD
ID: 9109095
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Oxide etcher, 8" (2) Chambers 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DDは、工業用または大学レベルの生産に最適なデュアルレーンエッチャー/アッシャーです。ステッパー、ロボット、真空チャンバーなどの標準ツールとの高度な統合を提供します。この装置は、シリコンウェーハ、ガラス、金属、有機材料など、さまざまな基板をサポートするように設計されています。また、いくつかの主要なフォトリソグラフィ技術と互換性があります。TEL UNITY IIE 855 DDは、優れたスループットと反復可能な結果を実現する統合プロセス制御を備えた高性能ツールです。自動ウエハ交換機能を搭載しており、複数の基板をさまざまな段階で簡単かつ安全に加工することができます。この855DDは、プロセスパラメータに関するリアルタイムフィードバックを備えた高度なプロセス制御も備えています。それは自動的に異常を検出し、適切に反応することができます、最小限のオペレータの相互作用と一貫したエッチプロファイルを可能にします。プロセス制御のために、855DDには、信頼性の高いエッチング率と化学終端を確保するための独自のセンサー技術を備えた統合ガス排気システムがあります。また、プロセスモーションとステージの移動速度を正確に管理するモーターコントローラを備えています。また、855DDにはトレーサビリティとデータストレージユニットが統合されており、正確なプロセス制御が可能です。エッチングされたデータとバーコードをレーザースキャナーで読み取ることができ、品質管理とデータストレージを向上させます。855DDは、機器の状態、トレーサビリティデータ、動作履歴、および機械障害情報を保存および監視することもできます。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDは、PCベースのユーザーインターフェイスを使用して、プロセス制御、監視、データストレージ、およびさまざまなレポート作成オプションを提供します。直感的な操作とグラフィカルユーザーインターフェイスにより、セットアップと使用が簡単になります。高レベルの統合と制御に加えて、UNITY II E-855DDは信頼性、安全性、およびソフトランディングのために設計されています。このツールは、国際的な安全基準に完全に準拠しており、安全なウエハハンドリングのための機械的シャッターとプロセス発煙封じ込めのための保護材料が装備されています。Unity IIe 855DDは、工業用または大学レベルの生産に適した使いやすいデュアルレーンエッチャー/アッシャーです。これは、効率的なプロセス制御とデータストレージのための標準ツールとの強化された制御と統合を提供します。直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスと信頼性の高いガス排気ツールは、産業環境に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DDは、効率的で安全な操作により、あらゆる生産環境に最適です。
まだレビューはありません