中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293809620 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DDエッチャーは、シリコンウエハのエッチングとクリーニングを行う最先端の機器です。これは、優れた精度とスループット能力でプロセスをエッチングおよび洗浄することができるシングルチャンバー、フルオートデバイスです。TEL UNITY IIE 855 DDエッチャーは、高精度で高効率なプラットフォームを使用して、正確なエッチングとクリーニングを実現します。このデバイスには、両方のプロセスを容易にするためのユニークな静的タービンホイールが含まれています。東京エレクトロンユニティII E-855DDの中核は、クローズドループのプロセス制御装置です。このシステムは、エッチングとクリーニングに必要な正確なパラメータがプリエッチングとポストエッチングの維持されることを保証します。これにより、エッチングおよび洗浄プロセス全体で高収率を達成するために必要な精度が保証されます。各ステップで、UNITY IIE 855 DDは温度、圧力、RF電力などの変数を測定し、最適なエッチングと洗浄性能を保証します。TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DDには、高度なモニタリング・レポート機能も搭載しています。リアルタイムデータをその場で監視し、必要に応じてプロセスをリアルタイムで調整することができます。これは、異なるエッチングおよびクリーニングアプリケーションのための複数のレシピをサポートし、プロセスの変更を実装するために必要な時間を削減することができます。TEL Unity IIe 855DDは、高性能で高スループットな動作を実現するよう設計されています。最大15ウェーハの負荷を同時にもたらし、標準のウェーハエッチャーよりも長いウェーハカセットを備えており、より大きなエッチングウィンドウを可能にします。これにより、多数のウェーハを迅速に処理できるため、生産性とスループットが大幅に向上します。最後に、Unity IIe 855DDには、オペレータと機密部品の両方を最大限に保護する幅広い安全機能も含まれています。ウェーハの損失や過負荷が発生した場合の自動シャットオフや、高効率ガス排気装置が含まれます。これらの機能は、堅牢な設計と相まって、あらゆる環境で信頼性の高い安全な動作を保証します。東京電子ユニティIIE 855 DD etcherは、シリコンウェーハのエッチングとクリーニングのための革新的で信頼性の高いデバイスです。完全自動化されたデバイスは、高度なプロセス制御および監視システムを使用して、一貫した正確なエッチング結果を実現します。また、高性能かつ高スループットな動作が可能で、多数のウェハを素早く処理することができます。最後に、オペレータとコンポーネントの安全性を確保するさまざまな安全機能も含まれています。