中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293759382 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DDは、複数の基板やプロセスを処理するために設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。7インチの完全なプラテンを備えたこのシステムは、最大直径8インチのウェーハを収容することができ、幅広いアプリケーションに費用対効果の高いプロセス柔軟性を提供します。さらに、プログラム可能なプラテン構成により、すべてのプロセスニーズに迅速かつ簡単にセットアップできます。TEL UNITY IIE 855 DDの堅牢で信頼性の高い設計には、ステンレス製のインテリアチャンバー、高度なプロセスコントロールモジュール、温度比率、AMATモデル855DD タイプRFソース、直流ソース、ディープエッチング機能、PECVDハイパワーソース、および追加のハンドリングおよびエッチプロセスツールが含まれます。単位はまた任意バーコードリーダーおよび手動平行ローディングの選択が付いている20スロット開いたフレーム様式のカセットローダーが装備されています；そしてガスの流れのモニター、圧力調整および制御およびマスフローのコントローラーを特色にする複数のガス配達単位。この機械は、高精度で高度なプロセス制御ツールを備えており、圧力、温度、バイアス制御の設定点を正確に設定して維持することができます。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDは、排気制御、NFCクリーン開閉、および予防的な「中止」ボタンを備え、偶発的なプロセスの開始や機器の損傷から保護します。さらに、この資産には、プロセススタッフと機器の安全性を確保するためのプログラム可能な保護が内蔵されています。TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DDは、処理中の温度、圧力、その他のプロセス監視パラメータを追跡できる2台のモニタを提供しています。このモデルは、ユーザーが一度に最大128個のユニークなレシピを保存して記憶することができる内蔵のレシピ記憶装置を備えています。このシステムには、シングルウェーハとバッチ処理の両方にエッチング処理を最適化するための10設定圧力コントローラも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDは、エッチングチャンバーの時間、圧力、温度設定など、ウェハイメージキャプチャ、薄膜測定、フォトレジストなど、さまざまなデータをキャプチャすることができます。このデータは、分析のために収集して報告することができます。また、HMS （Health Monitoring Machine）を内蔵しており、継続的な監視と冷却ツールのメンテナンスが可能です。東京エレクトロンユニティIIe 855DDは、エッチング/アッシャー資産であり、中級および高度なプロセス能力を幅広く提供しています。堅牢なステンレスチャンバー、包括的なろ過、高度なバス監視、追加の安全要素を誇るこのモデルは、高効率で信頼性が高く、コスト効率も提供します。