中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293669281 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD
ID: 293669281
Etchers ECC Rack V2 EPD 210S Dry pump Chiller Front type: Normal (No SMIF type).
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DDは、TEL Limited (TOKYO ELECTRON LIMITED)が設計したエッチャー/アッシャーです。半導体製造からナノテクノロジー研究まで幅広い用途に適しています。TEL UNITY IIE 855 DDは、高度なクレンジングとサイト準備機能を提供する自動エッチング/アッシングツールです。これは、精度、制御性、再現性を確保するように設計された自動垂直ドライブ装置を備えています。垂直駆動システムにより、エッチングプロセスを正確に制御し、複数の基板高さで同時に操作できます。エッチャー/アッシャーには、手動のプロセス活動がシーケンスを中断するのを防ぐ簡単な統合オートメーションキットが装備されています。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDは、高精度のウェーハ読み取りを可能にする高度な照明ユニットを搭載しています。これにより、各エッチングステップを処理中に各チップの位置とともに正確に追跡することができます。3D高解像度イメージングマシンを搭載しており、小さな特徴を高精度に非接触測定できます。プロセス効率を最大限に高めるため、高速で均一なエッチングとエッチング条件の管理のための連続ドライエッチングも備えています。UNITY IIE 855 DDには、ユーザーの効率を高める幅広い機能があります。エッチャー/アッシャーには、直感的なユーザーガイダンスを提供する人間工学に基づいたヒューマンマシンインタフェース(HMI)が装備されています。また、リアルタイムプロセスモニタリングツールを搭載しており、エンジニアはエッチングプロセス内の異常をすばやく検出して識別することができます。さらに、パラメータ、レシピ、グラフ、その他の重要なデータを格納する高度なデータベース資産を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDは、最も要求の厳しいエッチングおよびアッシングプロセスに対し、性能、柔軟性、信頼性を提供します。さらに、優れたカスタマーサービスと業界をリードする保証サービスに支えられています。エッチャー/アッシャーは、お客様に独自のニーズを満たす完璧なツールを提供するように設計されており、優れたエッチング/アッシングソリューションを提供します。
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