中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646444 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DDは、太陽光発電（PV）用途に特化したエッチャー/アッシャーです。このユニットは、大面積デバイスを製造するための費用対効果の高い汎用性の高いソリューションです。TEL UNITY IIE 855 DDはガスパネルとターボポンプユニットで構成されています。ガスパネルは正確で予測可能な窒素雰囲気を提供し、ターボポンプユニットはスムーズで効率的な転送を可能にし、エッチング工程全体で均一な反応を保証します。ガスパネルとターボポンプユニットを組み合わせることで、高精度なプロセス制御が可能です。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDには、毎回正確かつ一貫した処理を保証する最先端のセンサーシステムも搭載されています。圧力、温度、流量および主要化学物質の分布を監視するように設計されており、ユーザーはプロセスに関するリアルタイムのデータと分析を得ることができます。このフィードバックは、高品質で欠陥のない太陽電池の製造を支援し、可能な限り最高のエッチング結果を提供するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Unity II 855DDは、エッチング前の保護コーティング用クオーツメタルホットウォールCVDを採用しています。プロセス速度は最大300mm/min、エッチング深さは500〜1000nmです。チャンバーのサイズは600 x 600 mmで、出力は2kWです。このユニットにはさらに、100 x 100 mmのスキャン範囲を持つ電動リフトと傾斜計パンが含まれています。さらに、UNITY II E-855DDはプロセスの柔軟性を念頭に置いて設計されており、最小限の労力でさまざまなプロセスレシピに素早く再構成することができます。これにより、ユーザーは迅速な納期の恩恵を受け、生産効率を最大限に高めることができます。TEL Unity IIe 855DD etcher/asherは、精度、プロセス制御、およびデータのフィードバックを提供するPVデバイス製造のための優れたソリューションです。また、非常に柔軟性があり、最小限の労力で広い面積と高品質のエッチングを生成するように設計されています。
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