中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646425 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DDは、3チャンバー設計の高性能エッチャー/アッシャーです。独自のデュアルモードエッチング/アッシュ方式を採用しており、エッチングと蒸着プロセスを1ステップで組み合わせることができます。この方法は、生産性、均一性、および無駄を最小限に抑えた歩留まりをもたらします。TEL UNITY IIE 855 DDは425 x 425 x 200 mmのチャンバーサイズで、大容量で複数の基板を同時に処理できます。二軸X -Yスキャン機能を搭載し、エッチングと成膜の正確な位置決めが可能です。また、プログラム可能な基板リフトオフ機構を備えており、高速で動作する場合にはより高い精度で動作することができます。エッチャー/アッシャーには、自動ウェーハのロードとアンロード、リアルタイムのリモート監視と診断、強力なプロセス制御アルゴリズムなど、さまざまな高度なオートメーションと制御が装備されています。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DDは、さまざまなアプリケーションに最適なエッチング/アッシュレシピを自動生成することができます。さらに、エッチングガスを使用せずに作業できるように設計されており、さまざまなエッチングおよび蒸着プロセスに適しています。UNITY II E-855DDは、環境監視システムや窒素突入保護システムなどの安全機能を強化し、ガス爆発をエッチングするリスクを低減しています。また、自動クリーニングシステムを備えており、頻繁なメンテナンスの必要性を排除します。TEL UNITY II E- 855DDは、幅広いプロセスウィンドウと高効率プラズマ源で設計されており、ハイスループットエッチングと高品質の蒸着アプリケーションの両方に適しています。全体的に、UNITY II E-855DDは強力で汎用性の高いエッチャー/アッシャーであり、多くの高度な機能を備えています。包括的なプロセス制御ソフトウェア、オートメーション、安全機能を備えているため、高精度のエッチングおよび成膜プロセスに最適です。さらに、高効率プラズマ源と幅広いプロセスウィンドウにより、高スループットと高品質のアプリケーションに適しています。