中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATC #9091881 を販売中
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ID: 9091881
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Etcher, 6"
Wafer type: Flat-zone
Processing type: Vacuum
Wafer loading type: Normal
(2) Chambers
Mass flow controller:
Gas No / Gas Name / MFC Size (SCCM)
Gas #1 SF6, 200
Gas #2 HE, 1 SLM
Gas #3 O2, 20
Gas #4 AR, 1SLM
Gas #5 CHF3, 100
Gas #6 CF4, 100
Pressure controller V/V:
Item / Make / Model
ISO V/V (PC1), FUJI SEIKI, 6000729
ISO V/V (PC2), FUJI SEIKI, 1616812
APC (PC1), VAT, 61140-PH52
APC (PC2), VAT, 61140-PH52
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron, MKS, 622A02TAB, 2 Torr
Baratron, MKS, 622A02TAB, 2 Torr
Baratron, MKS, 622A11TAE, 10 Torr
Baratron, MKS, 622A01TAE, 1 Torr
System:
Description / Make / Model
Robot, YASKAWA, VS2A
Robot controller, YASKAWA, SRC-II 004
TMP (PC1), SEIKO SEIKI, STP-H751E
TMP controller (PC1), SEIKO SEIKI, STP-H751E
TMP (PC2), EDWARDS, STP-H751E2
TMP controller (PC2), SEIKO SEIKI, STP-H751E
Generator (PC1), DAIHEN, MFG-20SA
Generator (PC2), DAIHEN, MFG-20SA
Matcher (PC1), DAIHEN, MFM-20AS
Matcher controller (PC1)
Matcher (PC2), DAIHEN, MFM-20AS
Matcher controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
HDD (Data): HDS728080
AC rack (PCB):
SVA004a
SVA603
MVME162
TVB0002
TVB3101
TVB0008
TC (PCB):
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1:
APC
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2:
APC
DIO
MAIO
COM
TEMP
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATCは、半導体デバイス製造などの関連産業向けに設計されたプラズマ強化反応イオンエッチャー（PE-RIE）です。この装置は、ウェーハやその他のワークピースのエッチングに最大限の性能、精度、再現性を提供するように設計されています。Unity IIe 85は、高精度の高真空チャンバー、大容量スループット輸送、高度な制御システムを備えています。このチャンバーはコーティング抵抗力があり、長期的な信頼性と高精度エッチングのために設計されています。Unity IIe 85 PE-RIEは、最大温度450°Cの大容量3軸輸送ユニットを備えています。この水平搬送機は、ウェーハ全体で均一で一定で反復可能なエッチング速度を維持し、正確なウェーハ搬送と位置決めを提供します。チャンバーはまた、精密な圧力制御を提供し、プロセスパラメータが分散せずに維持されるようにします。エッチングレートはリアルタイムで調整でき、エッチングプロセスのパラメータを正確に制御できます。Unity IIe 85でエッチング処理を自動化し、プロセスを簡素化して再現性と信頼性の高い結果を保証します。このツールにはオフラインパラメータセットアップ機能が装備されており、各エッチプロセスのデータを入力してウェーハをロードする前に最適化することができます。エッチング処理は、チャンバ内でも遠隔でも監視できるリアルタイム監視アセットでチャンバ内から監視および調整されます。Unity IIe 85は、高度な制御技術を使用して、高精度と再現性を維持します。このモデルは、RFジェネレータを使用してプラズマを作成し、圧力、温度、ガスの流れ、電流などの幅広いパラメータによって制御されます。また、IIeコントローラを使用してRFジェネレータのインダクタンスを調整します。Unity IIe 85は、半導体製造および関連産業向けに設計された高度で信頼性の高いPE-RIEシステムです。最高レベルのパフォーマンス、精度、再現性を提供し、リアルタイムの監視と制御でエッチングプロセスを自動化することができ、ユーザーは最高レベルの精度と生産スループットを達成できます。
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