中古 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD #9377255 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DDは、マイクロエレクトロニクス業界におけるシリコンウェーハ用の高度なエッチャー/アッシャーです。シリコンウエハーを高精度・高精度にエッチング・アッシュするように設計されています。845DDエッチャー/アッシャーは、自動ウェハ操作に3軸（x-y-z）ロボットを使用しています。3段階の高解像度リニアステージを備えた精密なウェーハマニピュレータロボットを使用して、インプロセスチャンバーと複数のウェーハポッド間のウェーハの正確な転送と、プロセスチャンバー内のウェーハの正確で高速な操作を可能にします。ウェーハポッドは、処理中のウェーハに安全で安定した環境を提供します。845DDエッチャー/アッシャーには、アクティブ冷却装置とウェーハプロセスチャンバーとウェーハポッドの両方に効率的な加熱システムが装備されています。アクティブクーリングユニットは、0。1°Cの精度で温度制御を備え、ウェーハプロセスチャンバーとウェーハポッドの両方をわずか数分で-15°Cの温度に冷却することができます。加熱機は、デュアルゾーンの温度制御を備えており、ウェーハプロセスチャンバーを所望の設定温度に素早く加熱することができます。845DDエッチャー/アッシャーには、高度な3Dレジストイメージング機能も備えています。この機能はレーザーエッチングで構成されており、3Dレジストを非平面的にパターン化するために使用され、ウェーハ上に複雑な3D構造を形成することができます。845DDエッチャー/アッシャーには、プロセス開発と最適化を迅速化するための高度なレシピ管理機能も搭載しています。845DDエッチャー/アッシャーは、複数のウェーハを同時に処理することができ、エッチング/アッシュされるウェーハの種類と所望のプロセス結果に応じて処理時間がかかります。用途に応じて、側面分解能または深度分解能1nmのエッチング/アッシュウエハーが可能です。845DDエッチャー/アッシャーには、信頼性の高い安全ツールと堅牢な監視資産が装備されており、スムーズでエラーのない動作を保証します。全体として、TEL UNITY IIE 845DDは、マイクロエレクトロニクス業界に信頼性の高い高精度エッチャー/アッシャーを提供します。高度なロボティクスと幅広いエッチングとアッシング機能を備えており、複雑な3D電子デバイスの製造に適したツールです。