中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #9377254 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 844DDは、研究・中小生産設備のニーズに応えるために設計された高速・中大容量のバッチエッチング・アッシング装置です。Unity IIeは、フォトレジスト、スペーサーエッチング、CMPエッチング/アッシングチャンバーを搭載し、直径8インチ（200mm）までの基板加工が可能です。内蔵のCCDカメラシステムにより、チャンバー内部の基板を直接見ることができます。Unity IIeのその他の機能には、2段の出力、同時etch/ash処理、および加熱EBRがあります。Unity IIeは、TEL U-SERIESマルチメモリユニットを搭載した15。1インチのタッチパネルコントローラによって駆動されます。このマシンは、最大800のレシピと10のプログラムを格納することができます。生産性を向上させるために、コントローラはWebブラウザを介してリモート制御を可能にします。Unity IIeは、強力なソース回路図の構築、マルチメモリツール、2段階の出力反転、およびEBR制御機能により、高いパフォーマンスを提供します。ソース回路図の構築により、安定したプロセス機能が可能になり、マルチメモリアセットは高速なメモリ書き込み操作を提供します。2段階出力インバータは粒子集積性能を高め、EBR制御機能はプロセスレシピを拡張します。安全面では、Unity IIeはFPD安全クラス2に規定されている厳格な要件を満たすように設計されています。このモデルは、ガスセンサー、消火器、自動圧力停止などの安全対策を内蔵しています。全体的に、TEL Unity IIe 844DDは高性能エッチングおよびアッシング装置であり、研究および生産設備に信頼性の高い高精度加工を提供するように設計されています。Unity IIeは、高速動作、内蔵CCDカメラシステム、高度な安全機能、効率的なソース回路図の構築により、精密なマイクロエッチング、基板エッチング、およびCMPエッチング/アッシュのための理想的なツールです。