中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293796081 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PPは、薄膜を様々な基板上に堆積するように設計されたエッチャー/アッシャーです。それは4つのエンドポイント検出を用いる大きい、産業的に可能な機械です。非常に精密な薄膜成膜が必要な用途に適しています。TEL Unity IIe 655PPは、約18インチ×30インチ（45cm×76cm）の大型チャンバーを備えており、両チャンバーでの同時蒸着が可能なデュアルチャンバー設計を採用しています。クォーツチューブ炉（4つの500W IRランプを搭載）は、各チャンバーを500°Cまでの温度まで加熱し、マシンの後部には-100ボルトまでの基板バイアス電圧を提供する特別なコイルを収容します。TOKYO ELECTRON Unity IIは、洗練されたエンドポイント検出システムを活用した655PPです。Quadruple Endpoint Detector （QED）とDigital Image Processor （DIP）を組み合わせており、どちらもマシンのコントローラに組み込まれています。QEDは水晶管の4つの赤外線検出器を使用して膜厚と均一性を監視し、DIPはチャンバー内にある特別なカメラで撮影した画像を分析します。これにより、高精度の薄膜成膜が可能となり、エッチングまたはアッシング工程の品質に関する貴重なフィードバックを得ることができます。Unity IIe 655PPには、プラズマエッチングを実行する機能もあり、チャンバーにプラズマソースを設置することができます。このマシンの特別な特徴は、Spike-IDです。高度で独自のエッチング技術により、小さな構造や特徴、高アスペクト比の構造を正確に作成できます。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PPは、幅広い用途に適した優れたエッチャー/アッシャーです。その洗練されたエンドポイント検出システムと薄膜成膜とプラズマエッチングの両方を実行する機能により、高精度と小型構造を必要とする超精密アプリケーションに最適です。