中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293793647 を販売中
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ID: 293793647
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Oxide etcher, 6"
Wafer type: Flat
(7) Gas lines
Gases: CF4, CHF3, Ar, N2
DAIHEN MFG-20SA3 RF Generator
FUJIKIN Manual valve
(3) MILLIPORE WG2FT1RR2 Filters
(2) VERIFLO SQ60502PFSMM Regulators
VERIFLO SQ140E502PFSMM Regulator
KURODA B35-2G Regulator
NKS Pressure gauge
NAGANO KEIKI CB14 Pressure switch
Pneumatic valve:
CKD AVB21-X0038-FL Vacuum valve
FUJIKIN General protective valve
VAT 26332-KA71-1001/345 Isolation valve
Gas box:
Size: 100 Φ
Range: 100 CFM
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity II(東京エレクトロンユニティII) 65DPは、学術・産業研究所向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。この先進的な装置は、直径200mmまでのサンプルサイズで動作でき、プロセス温度は最大350°C、エッチング深さは最大9ミクロン、アッシャープロセスは最大0。3ミクロンです。TEL Unity IIe 65DPの高度なプロセスプロファイル制御により、マルチステップエッチングやアッシャーレシピなど、幅広い処理パラメータが可能です。また、専用のTEL制御ソフトウェアを搭載した「TOKYO ELECTRON Unity II」 65DPは、PC上の高度なグラフィカルなインターフェースを介して、プロセスレシピの設定、条件の監視、操作を直感的に行えるようになっています。システムは、別のPCまたはラップトップで遠隔操作することもできます。このソフトウェアは、リアルタイムデータロギング、プロセス履歴ロギング、50,000レシピ以上のライブラリを使用したレシピ編集/設計などの機能も提供します。Unity IIe 65DPはソリッドステート設計で、大気や振動の影響を防ぐことで長期的な安定性を確保しています。また、メンテナンスシステムを自動化することで、ユーザーの介入を最小限に抑えることができます。このマシンには、最適なツール操作と稼働時間を確保するためのリアルタイム診断機能も搭載されています。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II(東京エレクトロンユニティII) 65DPは、あらゆるラボ環境に対応できるモダンで小規模なデザインです。この頑丈なアセットは、高い信頼性と性能を備えており、さまざまなサンプルタイプに対応できます。全体的に、TEL Unity IIe 65DPは、自動メンテナンス、高度なプロセス制御、直感的なグラフィカルインターフェイスを備えた高性能エッチャー/アッシャーを探している大学やその他の研究室に最適です。
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