中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293764224 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PPは、高精度・高精度の各種ウエハタイプのエッチング・アッシャー装置です。これは、エッチングとアッシングの結果の広い範囲を達成するために、複数のプロセスとパラメータを利用します。TEL Unity IIe 655PPは、13インチの真空ウェーハエッチングおよびメタライゼーションシステムです。東京電子Unity IIe 655PPの高度なゾーンバランシング機能は、8つの高解像度デジタル絶縁レーザーヘッドを備えた高速エッチングエンジンを搭載し、ウェーハの種類や厚さに応じて精密かつ再現可能なエッチングおよびアッシング結果を実現します。Unity IIe 655PPの高度なロボットユニットは、高精度のエッチングとアッシング機能に加えて、正確なウェーハ処理を可能にします。統合されたシングルウェーハカセット、ウェーハピックアップロボット、および個々のカセットグリッド間でウェーハを移動できるウェーハクリーニングロボット、およびウェーハハンドリングとエッチング位置の間を自動的に往復することができます。統合されたウェーハクリーニングロボットはまた、非常に効率的で反復可能で信頼性の高いクリーニングプロセスを提供します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PPは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンGUIをインターフェースとして利用し、直感的に使いやすいインターフェースで、エッチングやアッシング結果に必要なパラメータを入力できます。また、最大4つのカスタマイズ可能なユーザープログラムで、異なるエッチングプロセスをメモリに保存できます。さらに、ウェーハエッチングおよびメタライゼーションパラメータをすべて格納することができ、異なるウェーハタイプと異なるロットサイズの間で一貫したエッチングおよびアッシング性能を保証します。TEL Unity IIe 655PPは、マーケットプレイスにおける主要なエッチャー/アッシャーツールであり、幅広い種類のウェーハタイプ、サイズ、厚さをエッチングおよびアッシュするように設計されています。高度なゾーンバランシング機能と最先端のオートメーション機能を備えたこのアセットは、高精度で反復可能なエッチングとアッシングの結果を提供し、ハイレベルなウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。