中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655II #293764223 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655IIは、シリコンウェーハ、銅ウェーハなどの有機材料や無機材料など、幅広い基板を正確に加工するために設計された先進的なエッチャー/アッシャー装置です。基板タイプに合わせたチャンバーを装備し、精密な加工を実現しています。また、優れたソースマッチングを採用し、均一性の高いエッチング結果を実現しています。TEL Unity IIe 655IIのさらなる利点は、リモートモニタリングとパラメトリック解析のためのイーサネット接続などの高度な機能です。機械はExactWeigh™および多数の基質のローディングおよび荷を下す機能のエッチングそしてashing技術の最も最近を利用します。TOKYO ELECTRON Unity IIe 655IIは、4インチ、6インチ、および8インチの基板を、バッチとシングルウェーハの両方のマルチステッププロセスシーケンスで最大8個まで処理できます。このツールには、サイクルの一貫性とプロセスの再現性を保証するオンボードテスターが付属しており、データロギングによりトレーサビリティと迅速なプロセス最適化が可能です。Unity IIe 655IIは、SINTEF NExp™対応のエッチング/アッシュプロセスコントローラを備えており、優れた自動フロー制御、温度制御、圧力制御、真空制御を提供します。このアセットは、TEL Sophisticated Solution™、モデルに直接ダウンロードできるレシピを作成するためのソフトウェアとも互換性があります。このソフトウェアは、オペレータが将来の使用のためのレシピを作成して保存することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 655IIの特長の1つは、基板の加工サイクルごとに正確に管理された処理ガス量を確保するGDD （Gas Dynamic Dose） ™技術です。このGDD™技術は、装置の高度なソースマッチングおよびマルチステッププロセスと組み合わせて、正確で均一なエッチング結果を保証します。さらに、再循環ユニットも備えており、エッチング結果の品質を損なうことなく、同じチャンバー内の複数の基板の処理を可能にします。TEL Unity IIe 655IIは、優れたエッチャー/アッシャーマシンです。高度な機能、精密洗浄機能、高いエッチング品質と均一性を備え、幅広い材料加工ニーズに最適なエッチングソリューションです。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655IIは、長期的な信頼性と比類のないプロセス性能を提供する優れた投資収益率を提供します。