中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655DD #9148397 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655DDは、0.1µm以上の機能サイズを持つ高密度デバイスで使用される製造工程向けに設計された超精密エッチャー/エイサーです。トリプルチャンバー構成を採用し、ウェハサイズは最大6〜8インチウェーハで、多種多様な製造プロセスに対応しています。これは、低圧液体エッチング処理を備えた高度なプロセスモニタリングシステムを備えており、幅広い電子機器の精密かつ正確なエッチングを可能にします。デバイスのエッチングは、通常、パターンによって開始され、エッチャーによって生成されます。パターンとウェーハの接触による表面の損傷を軽減するため、不活性な雰囲気の中でパターンが生成されます。さらに、TEL Unity IIe 655DDの低圧液体エッチング処理により、高圧による不良の発生を低減します。これは、材料の非常に正確に堆積層と電子回路の様々なタイプのエッチングを可能にします。エッチャーは、必要に応じて薄膜材料の成膜にも使用できます。このプロセスは、指定された材料の薄膜を堆積させるために、ウェーハ表面に電極または陰極を制御して適用します。このプロセスは、ウェーハの表面に誘電層を生成するため、または回路基板の最上層にパッシベーション層として使用することができます。TOKYO ELECTRON Unity IIe 655DDは、ウエハーへのパターンの均一なエッチングを実現する高度なプロセス監視システムを搭載しています。このシステムはまた、エッチングプロセスの温度に関するフィードバックを提供し、材料が均等かつ正確にエッチングされ、エッチングにエラーが発生しないようにします。さらに、エッチャーの安全機能には、騒音を低減し、事故を防ぐための保護安全ドアが含まれています。また、このエッチャーにはさまざまなセンサーとアラームが搭載されており、潜在的にプロセスの不具合につながる可能性のあるあらゆる問題をスタッフに警告するのに役立ちます。Unity IIe 655DDは、プロセスバリエーションを最小限に抑えて高品質の電子デバイスを製造するのに役立つ信頼性が高く、正確で効率的な生産エッチャー/エイサーです。その高度な機能は、エッチングまたはアッシャープロセスが最小限のエラーまたは合併症で発生することを確実にするのに役立ちます。