中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9227407 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、株式会社TELがウエハの精密加工用に開発したエッチャー/アッシャー装置です。従来の高価なウェットエッチングプロセスを置き換えるように設計されており、高精度のスキャン電子ビーム（SEB）プロセスを使用するため、優れたスループットと精度を提供します。ソフトウェア制御のビーム最適化と均一補正を備えており、エッチング結果が信頼性と精度に対する最高の期待に応えることができます。TEL Unity IIは、MEMSおよびナノテクノロジー製品およびマイクロシステムの迅速な製造、ならびに研究開発のために設計されています。このマシンには、複数のビームスキャンオプションと可変RFパワーが装備されており、誘電エッチング、結晶エッチング、2層間の材料の選択的エッチングなど、幅広いアプリケーションを可能にします。スパッタエッチングも可能で、欠陥を最小限に抑える自動工程最適化ルーチンを搭載し、最高の歩留まりを実現しています。TOKYO ELECTRON UNITY IIは汎用性が高くユーザーフレンドリーです。標準サイズと非標準サイズの両方で最大150個のウェーハの選択とローディングを可能にし、人件費を削減し、手作業の処理を排除するラデンスシステムを備えています。ユニットはまた、各アプリケーションのユニークな要件で動作するように特別に設計されたさまざまなプロセスチャンバーが付属しています。また、高度な診断と制御インタフェースを備えており、リソグラフィープロセスの継続的な監視と調整を可能にします。Unity IIは、スループット、信頼性、精度を最大限に高めるように設計されています。ビームスポットサイズを超過し、高電圧の電子銃を装備しており、正確なビーム制御が可能です。その8段階の真空ポンプ機械は急速な避難を可能にし、汚染の危険を減らします。また、メンテナンスやクリーニング時に電子ビームをカバーする高速シャッターや、安全な操作のためのダブルドアアクセスポートなど、さまざまな安全性と保護機能を備えています。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーで、さまざまな高精度アプリケーションに最適です。優れた精度とスループット、ユーザーフレンドリーな設計と高度な安全機能により、精密ウェーハ加工に最適です。