中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9105196 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、プラズマエッチングやアッシングに使用されるエッチャー/アッシャーです。TEL Unity IIは特許取得済みのシールドチャンバーを備えており、エッチングやアッシング時にイオン、電子、中性粒子のバランスをしっかりととることができます。これにより、ガスや有機汚染の余分な再循環を必要とせずに、正確なエッチングとアッシングプロセスが保証されます。また、最適化されたプラズマシステムを使用して、エッチングとアッシングの均一性を確保し、高効率です。TOKYO ELECTRON UNITY IIは、チャンバー条件の自動制御、DCバイアス、プロセス時間、圧力、ガス流量など、多目的なプロセス制御を可能にします。これは推測を排除し、エッチングとアッシングサイクル全体で一貫した結果を保証するのに役立ちます。また、アクティブチャンバー汚染モニタリングマシンを搭載しており、チャンバー壁の粒子沈着による不要なプロセス逸脱を防止します。Unity IIは、プラズマエッチングとアッシングの両方のプロセスを同時に制御するように設計されており、ユーザーはパラメータを調整し、両方のタイプのプロセスを同時に表示することができます。これは気晴らしを避けるのに役立ち、プロセスを最適に実行することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIを使用することで、空気質量流量の精密な制御、空気粒子のろ過、エッチング/アッシングミックス数、アルゴンエッチング率の制御が可能です。これには、過剰な放射の場合に電源を遮断して排出速度を自動制御する光放射分光法（OES）が含まれています。また「、東京エレクトロンユニティII」は、迷路の荷電粒子を自動アンケートし、プロセスチャンバーを通過させないように設計されています。全体的に、Unity IIは信頼性が高く効率的なエッチャー/アッシャーであり、幅広いプロセス制御機能を備えています。その汎用性、安全性、一貫性により、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに理想的なマシンです。