中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078020 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity II
ID: 9078020
ヴィンテージ: 2000
Etcher, damascene, Cu, 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、半導体加工やリソグラフィなど、さまざまな業界で使用される先進的な多機能エッチャー/アッシャーです。TEL Unity IIは、様々なプロセスを単一の機器プラットフォームに統合することが可能であり、生産とメンテナンスのコストを最小限に抑えながら、信頼性の高いプロセスの均一性と再現性を実現します。TOKYO ELECTRON UNITY IIは、独自のデュアルモードスイープ技術(DMST)を搭載し、プラズマエッチング、ガス相エッチング、大気ガス洗浄を同時に行うことができます。この独自の機能により、非常に低コストで最先端の処理均一性を実現します。また、高いエッチング率と優れた選択性を備え、多種多様なマスクや基板に対応できる極めて高度なエッチング能力を誇っています。高度な制御システムにより、圧力、温度、プラズマ条件など、すべてのプロセスパラメータの適合性を保証できます。TEL/TOKYO ELECTRON Unity IIは、高度な安全機能を多数搭載しています。これには完全に統合されたウェーハ監視システムが含まれており、ウェーハの蒸着やエッチング性能の不規則性を検出することができます。このシステムは、重大な障害が発生した場合に自動緊急シャットダウン機能でバックアップされます。過圧リリースデバイスは、機器が安全でないレベルの高エネルギープラズマにさらされるのを防ぎながら、最適な安全性と性能を保証します。TEL Unity IIは高効率でユーザーフレンドリーで、経験の浅いユーザーでも簡単に高度なエッチングプロセスを実行できます。その包括的な制御インターフェースは理解しやすく、すべてのプロセスパラメータを細かくかつ効率的に制御できます。さらに、傾斜角度調整やオーバーレイエッチングの選択などの高度な機能を備えており、特定の要件に応じてエッチング工程を微調整することができます。高度なエッチング機能と幅広い安全機能を単一の統合プラットフォームに組み込むことで、Unity IIは比類のないレベルの信頼性を提供することができます。さらに、その相対的な手頃な価格は、多くの業務にとって理想的な選択肢となり、お金に優れた価値を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、高度な機能と信頼性を備え、あらゆる産業プロセスに最適なエッチャー/アッシャーです。
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