中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078018 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、高い評価を受けている日本メーカーのフルオートエッチャー/アッシャーです。このエッチャー/アッシャーは、スループットを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。革新的なシングルウェーハ転送システムを備えているため、さまざまなサイズと構成のウェーハを迅速かつ効率的に処理できます。TEL Unity IIは、高精度な高圧CO2レーザーを搭載し、ウェーハ表面に様々な材料を正確かつ再現可能にします。TOKYO ELECTRON UNITY IIには2つの高精度エンドエフェクターが組み込まれており、ウェーハをチャックに安全かつ正確に配置して押し込むことができます。ピンセットは正確な断面の視野上を移動し、ウェーハ表面のレイヤーを正確に整列させることができます。チャック上の比例/積分制御アルゴリズムにより、チャック上の各ウェーハの位置を微調整することができます。Unity IIは、独自の2段階プラズマエッチングプロセスを使用して、業界で最高品質の完成ウェーハを提供します。このプロセスでは、異なるエッチング効果のために異なるガス化学物質を使用し、エッチングされたパターンとレイヤーを最も正確な再現性で提供します。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、高層検出機能を備え、各層の厚さを正確に測定することができます。このマシンはまた、高度に自動化された基板ウェハローディングプロセスを備えています。各ウエハーはカセットに貯蔵され、機械に与えられます。TEL Unity IIは、複数のワークステーションやソフトウェアとの接続性を提供し、設計を編集して機械にアップロードすることができ、設計と生産の完全な継続性を提供します。このエッチャー/アッシャーは、迅速かつ確実に動作するように設計されており、半導体製造などの幅広い業界での使用に最適です。
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