中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9078017 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Unity II
ID: 9078017
Oxide etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、様々なマイクロエレクトロニクスやナノエレクトロニクスのアプリケーションで使用されるエッチャーおよびアッシャーです。シリコンウェーハや基板から炭素や炭素酸化物を除去するために設計された低圧バッチエッチャーおよびアッシャー装置です。強力なエッチングとアッシング機能を備えており、エッチングと灰の速度と製品品質を正確に制御する必要があるさまざまな複雑なプロセスを実行することができます。TEL Unity IIには4つの独立したエッチングと灰のレシピ設定が装備されています。これらの設定は、温度、流量、圧力、および濃度などの幅広いエッチングおよび灰の条件を制御するために使用できます。また、最先端のプロセス監視および制御システムを搭載しており、エッチングおよびアッシュパラメータをリアルタイムで検出できます。この機能により、ユーザーはリアルタイムでエッチング/アッシングのパフォーマンスを監視し、プロセスを最適化するために必要な変更をすばやく行うことができます。TOKYO ELECTRON UNITY IIは、エッチングやアッシュ基板に高度な化学ソリューションを使用しています。高精度のエッチングとアッシング技術を提供し、迅速かつ正確で再現性のある再現可能なプロセスを検証します。その結果、Unity IIは、高精度のエッチングとアッシングを必要とするマイクロエレクトロニクスおよびナノエレクトロニクスのアプリケーションに最適であり、優れたプロセス制御機能と高速生産時間を備えています。さらに、ユニットは非常に大きな基板を扱うためにスケールアップすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIは、安全性とユーザーエクスペリエンスを念頭に構築されています。エッチングとアッシングのすべてのプロセスは、独立した安全コントローラによって監督され、常にマシンの安全な動作を可能にします。さらに、このツールは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは資産パフォーマンスを簡単に監視できます。全体として、TEL Unity IIは、さまざまなマイクロエレクトロニクスおよびナノエレクトロニクス用途向けの優れたエッチャーおよびアッシャー機器です。精密プロセス制御、迅速な生産時間、安全な操作により、優れたエッチングとアッシング機能を提供します。
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