中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #159332 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II （TEU）は、半導体やナノテクノロジーの製造に幅広く応用されている先進的なアッシャー/エッチャーです。高品質の均一なエッチングプロセスを提供することができ、プロセスの柔軟性とスループットを提供します。TEUには、2。75インチの円形プロセスウィンドウを備えた真空チャンバーがあり、6インチまたは8インチのウェーハボート2隻を収容できます。プロセスチャンバーの温度は周囲温度と350°Cの間で制御することができ、幅広い化学プロセスを可能にします。TEUはまた、ヘリウムフリーの冷却構成を備えているため、低温での化学プロセスに最適であり、ウェーハの損傷を防ぎます。TEUは化学蒸着（CVD）プロセスを使用しており、材料の薄膜を堆積させるために、ワーク表面に気体試薬を通過させる。TEUの大気圧CVDプロセスは、いつでも最大6個のウェーハで動作できます。TEUのエッチングガスデリバリーシステムは、高速かつ均一なエッチングのためのエッチングガスを均一に供給し、高品質のエッチングと低粒子排出を実現します。TEUには革新的なオンボードソフトウェアシステムがあり、プロセスの開始から終了までの制御と監視に使用できます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、ユーザーはパラメータを素早く設定し、特定のアプリケーションのプロセスを最適化できます。また、ネットワーク接続されたPCからTEUを遠隔操作できるため、エッチングプロセスの監視が便利です。TEUは、多種多様な基板をエッチングするための汎用性、耐久性、費用対効果の高いシステムです。パターンウェーハのエッチングやナノテクノロジーなどの先端技術の研究などに最適です。その優れたエッチング性能、堅牢なソフトウェア、手頃な価格は、多くの分野で実践者にとって魅力的な選択肢です。