中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DI #293829317 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DIは、プラズマ、ウェットケミカル、レジストエッチングプロセスの厳しいニーズを満たすために設計された先進的なエッチング装置です。高度なソリッドステート電源を搭載し、不要なメンテナンスを排除しながらプロセスパラメータを正確に設定できます。プリント基板や半導体ウェハなど、直径75〜450mmの基板に対応できる汎用性の高いシステムです。汎用性の高い基板ホルダーは、標準基板と特殊基板の両方を取り付けることができ、さまざまなオプションホルダーが特定の用途に使用できます。エッチングの均一性と均一性は、洗練されたフロー制御機の組み込みによって向上します。この制御ツールは、最先端のエッチングプロセスの温度、圧力、エッチング速度を正確かつ効率的に制御することができます。また、エッチング率の均一性を確保するための高度なタイミングモデルを搭載しています。TEL Unity II 85DIには、エッチング工程全体で基板を正確かつ安全に保持するための高精度シングルうつユニットと、ウェハ全体にわたって均一なエッチング結果を保証するための高度なウエハモニタリング装置が付属しています。温度制御、飛行時間制御、包括的なユーザーインターフェースなどの新機能により、システムの利便性と使い勝手が向上します。このユニットには、ユーザーの安全を確保するための洗練された安全マシンとエッチングツールも含まれています。安全ツールには、アセットが高すぎるか、エッチング速度が遅すぎると鳴る一連のアラームが含まれています。さらに、ウェーハと基板の均一性と適切な洗浄を確保するために、精密石英ノズルとスクラビングブラシを装備しています。TOKYO ELECTRON UNITY II 85DIは、高度なエッチング処理機能を備え、さまざまなエッチング処理に適しています。洗練されたフロー制御装置、高度なタイミングシステム、安全ユニットが組み合わされ、再現性と正確なエッチング結果を得るための信頼性の高い機械となっています。