中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DD #188831 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DDは、半導体製造プロセスにおけるシリコンウェーハの洗浄、テクスチャリング、エッチング用に設計されたアッシャー/エッチャー装置です。このシステムは、洗浄やエッチングなどの用途、およびマイクロマシニング用途に精密で再現性のある結果を提供するように設計されています。TEL Unity II 85DDを使用すると、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）または強力なコマンド言語を使用してプロセスをプログラミングできます。このユニットは8。5インチのフルカラーSVGAタッチスクリーンを備えており、簡単な操作とプログラミングが可能です。このユニットは、ベースユニットに接続された4つの独立したプロセスチャンバーを備えており、効率的なマルチチャンバーウェーハ処理を可能にします。チャンバーは最大動作温度400°Cで、乾燥および湿潤プロセス用に設計されています。TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DDは、プラズマエッチング、金属酸化物/水素エッチング、ポリマーのエッチング、レジストフィルムなど、幅広いプロセス機能を提供します。また、低流量の自動ガススイッチングにより、ガスハンドリング機能を統合し、化学廃棄物を最小限に抑えることができます。UNITY II 85 DDは、6軸の精度と制御で正確なプロセス制御を提供します。ユーザーは、リアルタイムでレシピをプログラムして監視することができ、プロセスの中間実行の迅速な変更を可能にします。TEL UNITY II 85 DDには自動チューニング機能が搭載されており、最大のスループットと結果の再現性を実現する設定を最適化します。標準的な構成に加えて、単位はいろいろな付属品および統合された技術と装備することができます。Unity II 85DDは、ブラシ、磁石、ピンセット、ノズルマニホールドなど、さまざまなエンドエフェクターと互換性があります。自動ウェーハ処理、自動ガスハンドリング、自動圧力制御などの統合されたオプションにより、プロセスがさらに合理化されます。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DDは、パワフルで使いやすいエッチング・クリーニングアセットです。電動ステージを内蔵した精密な仕様と、直感的なグラフィカルインターフェイスにより、プロセスシーケンスを迅速かつ簡単にプログラムおよび実行できます。自動化されたハンドリングオプションと高度なプロセス機能を備えたこのユニットは、あらゆるサイズのファブリケーターに最適なソリューションです。