中古 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855SS #9179093 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Unity II 855SSは、最も要求の厳しい産業用途向けに設計された次世代のエッチャー/アシュラーです。この装置は、微細ライン機能および半導体製品のための信頼性の高い効率的なエッチング/アシャリングプロセスです。ユーザーフレンドリーなプログラムを備えた直感的なヒューマンインターフェースと、エッチング/アシャリングプロセスを正確に制御するための最適化されたカラーモニターを備えています。このプロセスは、0。25ミクロンの小さな部品で効果的に動作し、最大150mmのウェーハをエッチング/アッシングすることができます。高容量500m3/秒のドライエアアニーリングシステムを搭載し、効果的な熱処理を実現します。また、ウェーハ搬送ユニットの自動応答機能も備えています。この機械の低電圧エッチング/アシャリングは、材料損失を最小限に抑えた高品質のエッチング/アシャードパターンを生成し、生産性を向上させるためにエッチング/アッシャーおよびレジームの高速スイッチングを備えています。このツールには、正確な故障判定用の高度な診断プログラムと、ウェーハリコール用のマスタファイルが含まれているため、生産を迅速かつ効率的に再開できます。また、高精度のE-GunおよびB-Gun制御機能や、より高速なプロセスサイクルのためのビームデリバリーコントロールも備えています。全体として、TEL Unity II 855SSは、高品質のファインライン機能と半導体製品を効果的に生産できる信頼性の高い効率的なエッチング/アシェリング資産です。